中国科技又有大突破,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”问世啦!它在浙大余杭量子研究院完成研发,已进入应用测试阶段。这设备就像一支“纳米神笔”,能在硅基上“手写电路”,精度达0.6nm,线宽8nm,无需掩膜版就能灵活改设计,和国际主流设备精度比肩,让我国量子芯片研发有了“中国刻刀”。 近期我国光刻机领域喜讯不断,纳米压印设备技术指标超国际巨头,氮化镓/碳化硅集成也有进展。这会带动光刻胶、半导体设备、特种气体等板块发展,期待“羲之”带来更多惊喜!

中国科技又有大突破,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”问世啦!它在浙大余杭量子研究院完成研发,已进入应用测试阶段。这设备就像一支“纳米神笔”,能在硅基上“手写电路”,精度达0.6nm,线宽8nm,无需掩膜版就能灵活改设计,和国际主流设备精度比肩,让我国量子芯片研发有了“中国刻刀”。 近期我国光刻机领域喜讯不断,纳米压印设备技术指标超国际巨头,氮化镓/碳化硅集成也有进展。这会带动光刻胶、半导体设备、特种气体等板块发展,期待“羲之”带来更多惊喜!
