光刻机,到目前为止作用在“光刻机整机”上目前没有可验证的公开量产突破;它的真实价值不在“造出一台 ASML 式光刻机”,而在把半导体前道设备、量测、EDA/仪器、零部件生态做成“集团军”,帮中国晶圆厂把非光刻环节国产替代跑通。这也是大作用,你们说对不对。


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