众力资讯网

谁也不曾料到,被EUV光刻机死死卡喉、被海外技术层层封锁的国产存储产业,竟硬生生

谁也不曾料到,被EUV光刻机死死卡喉、被海外技术层层封锁的国产存储产业,竟硬生生闯出一条颠覆行业的逆袭之路,让坐拥全球存储霸权的韩国彻底陷入焦虑!
 
近期,韩国《经济日报》刊发长文,字里行间满是焦虑与不安。
 
韩国业界赫然发现,中国DRAM龙头企业合肥长鑫,在无法获取EUV光刻机、被海外技术封锁的困境下,成功攻坚出颠覆性的键合DRAM技术,实现内存性能跨越式提升。
 
更让海外同行忌惮的是,这项技术并非停留在理论阶段,对应的全新工艺产线已正式开工建设,落地速度远超预期。
 
纵观近几年半导体行业的舆论风向,国产内存的行业口碑已然发生一百八十度逆转。
 
此前,海外厂商始终轻视国产存储技术,嘲讽中国只能生产低端内存产品,无法触碰高端制程领域。
 
但进入2025年,海外舆论的口吻彻底改变。
 
今年六月,韩国《每日经济新闻》就曾发文流露强烈危机感,提及合肥长鑫全员日夜攻坚、全力冲刺,以“打败韩国”为核心目标奋力突围,这一幕,复刻了当年韩国存储产业追赶日本的崛起之路。
 
在EUV光刻机被卡脖子的绝境中,合肥长鑫凭借两套核心技术组合拳,实现了弯道超车,彻底撼动韩国的行业优势。
 
当下主流的DRAM、HBM存储芯片,制程已迈入十纳米级别,这类精密制程的量产,高度依赖EUV光刻机加持。
 
正因如此,2023年起,三星、SK海力士疯狂布局EUV设备,其中三星采购量超55台,SK海力士采购量突破26台,牢牢依托设备优势巩固技术壁垒。
 
按照传统工艺逻辑,仅搭载DUV光刻机的合肥长鑫,制程节点的极限仅为15纳米,根本无法追赶国际先进水平。
 
但国产半导体工程师从未陷入技术躺平的困境,在设备受限的情况下,探索出全新突围路径,分别是多重曝光技术与键合DRAM工艺。
 
其中多重曝光属于行业常规进阶手段,依靠DUV光刻机搭配精密算法与多层掩膜版,反复雕刻晶圆,以此细化电路、推进制程,仅能实现被动追赶。
 
而真正让韩国厂商倍感压力的,是颠覆性的键合DRAM工艺。
 
传统DRAM芯片采用平铺架构,存储数据的电容阵列、负责运算控制的外围电路,统一集成在单块晶圆上,这种设计存在三大致命短板。
 
首先,高端制程需要EUV精细雕刻存储阵列,但外围电路无需高精度制程,强行同步加工造成极大的资源浪费。
 
其次,存储阵列生产需高温工艺,而外围电路不耐高温,工艺参数只能折中妥协,制约芯片性能。
 
最后,外围电路占用大量晶圆面积,大幅压缩核心存储区域,直接限制芯片容量与密度提升。
 
合肥长鑫的键合DRAM工艺,彻底重构了传统芯片的底层架构,将平铺设计升级为垂直堆叠模式。
 
技术团队将存储阵列与外围电路拆分,在两块独立晶圆上分别加工制作:存储阵列依托多重曝光技术实现超高密度,外围电路沿用成熟DUV工艺保障稳定性,最后通过垂直键合技术合二为一。
 
改造后,上层晶圆可100%用于数据存储,芯片存储密度、容量实现大幅跃升。
 
不同于AI领域常规的HBM堆叠工艺,长鑫采用的混合键合技术拥有绝对优势。
 
传统HBM堆叠如同两层独立建筑,依靠外接通道连接,存在物理间隔,数据传输延迟高、功耗高、发热严重。
 
而长鑫的混合键合技术,将两块晶圆打磨至原子级平整度,依靠原子引力直接融合为一体,贴合后无物理缝隙,不仅大幅提升传输效率,还直接砍掉大半功耗,性能优势全面领先。
 
事实上,三星、SK海力士早已知晓混合键合技术,但始终不愿全力落地。
 
一方面,该技术对产线洁净度、晶圆抛光精度要求极致,容错率极低,稍有偏差就会导致整批晶圆报废,良率难以把控;
 
另一方面,韩国厂商手握充足EUV光刻机,依托传统制程迭代就能稳定盈利,无需冒险投入高风险新工艺。
 
但国产存储产业有着清晰的战略布局,长鑫深知,DUV制程终将触碰物理天花板,想要突破海外封锁、摆脱技术桎梏,先进封装与键合工艺是唯一破局之路。
 
这一突破并非孤军奋战,依托长江存储Xtacking架构积累的混合键合技术经验,叠加中芯国际、通富微电等企业的技术赋能,国产键合、抛光、清洗设备全面成熟,搭建起完整的本土供应链,为长鑫技术落地筑牢根基。
 
目前,长鑫不仅加速推进键合DRAM产线建设,还依托多重曝光、先进封装技术迭代旧工艺,全力布局HBM专用产线,相关产能与产线规划即将落地。
 
韩国《经济日报》坦言,韩国当下的存储霸权,很大程度依托美国对华半导体制裁的政策红利,但这种人为搭建的技术壁垒终究无法长久。
 
随着国产半导体持续突破,EUV不再是高端制程的天花板,韩国垄断全球存储市场的格局,终将被彻底打破。