光刻机板块硬核4小龙: 1. 茂莱光学: 国内高精度光学器件龙头，产品覆盖光刻机匀光系统、物镜补偿环等核心部件，技术精度达纳米级，部分产品通过 ASML 认证。2024 年半导体业务收入同比增长超 50%，毛利率维持 60% 以上。DUV 光学透镜已进入上海微电子供应链，掌握纳米级非球面镜片技术，其 DUV 物镜系统单机价值量达 5000 万元，2025 年拟启动紫外检测系统样机试制，还中标了 ASML 合作项目。 2. 汇成真空: 汇成真空作为最早切入高端光学镀膜设备领域并且获得龙头长光所扶持，已陆续突破多家大客户并正在交付多台设备中，明年一季度相关收入确认后将见到公司业绩正式反转确认。 3. 富创精密: 控股股东及大股东目前还在增持股份，增持金额2.4亿。科技板块目前大股东增持的稀缺性标的。全球少数能量产 7nm 工艺半导体设备精密零部件的企业，产品覆盖光刻机真空腔体、气体传输系统等，国产化率从 2021 年的 7% 提升至 2025 年的 20%。 4. 波长光电: 作为国产光刻机产业链中的核心光学元件供应商，不仅是国内唯一覆盖三大国产光刻机厂商的光学元件供应商，还在 DUV 光刻机核心部件量产、EUV 相关技术储备等方面成果显著