ASML总监：干式光刻机非常重要，中国光刻机的现状让我们感到不安。 二十年前的老设备，如今成了关键突破口。 很少有人注意到，一台干式光刻机的重新登场，会让阿斯麦公司如此紧张。 在一次官方采访中，阿斯麦产品营销总监杰罗恩·德格鲁特开门见山地说，市场对干式深紫外光刻机的需求正在反弹，反而是那些二十年前的老设备变得越来越吃香。 这不是怀旧，而是现实。 全球芯片制造正在经历一场“成熟制程回潮”，那些不追求极限性能的芯片，比如电源管理、屏幕驱动、微控制器、电动车上的控制模块，只要稳定、低成本就行。 先进制程被封锁的背景下，干式光刻机这条“老路”，在中国成了主战场。 更让外界吃惊的是，德格鲁特随后点名中国。 他说，中国已经在2024年公布了自研干式光刻机。 他们没想到这速度这么快，也没想到中国真的能做出来。 他的原话是：“这既让我们感到不安，也引起了我们对中国光刻机的兴趣。” 一个全球垄断者的警觉，说明了两件事，一是中国确实走出了一步，二是这一步走得比他们预期早得多。 这台让阿斯麦感到不安的设备，来自上海微电子。 名字不重要，关键是这台国产干式光刻机具备实战能力。 按照官方公开数据，它能支持九十纳米甚至六十五纳米级别的工艺节点。 这不是实验室演示，而是已经进入晶圆厂的产线，正在与封装设备联动调试。 一些国内芯片厂商如中芯绍兴、粤芯、华润上华，都已经开始用国产设备进行验证和试产。 这事放在几年前，几乎没人信。 中国不是没搞过光刻机，但很多年都卡在核心部件上，尤其是光源、镜头和控制系统。 而且干式光刻机的市场没那么光鲜，不像极紫外那样耀眼。 谁都知道高端好，但没人愿意从“低端”开始打地基。 现在这个趋势变了，不光是因为出口限制，而是成熟制程的市场真的变大了。 干式光刻机成了切入口。 绕过先进制程的封锁，从九十纳米、六十五纳米开始，逐步吃掉模拟芯片、功率芯片、驱动芯片这些“中低端”市场。 别小看这些芯片，它们用量大、出货稳定，而且技术门槛没那么离谱。 搞定一台干式光刻机，就等于掌握了芯片制造的“发动机”。 就像阿斯麦的人说的，别以为老设备就没人要，他们那些旧型号现在都供不应求。 阿斯麦自己也没闲着。 他们在全球收购旧设备，成立专门团队翻新再卖，目标就是亚洲市场，尤其是中国。 从他这一举动就能看出来，谁都明白这个市场背后的增长潜力。 特别是那些原来用来制造模拟芯片的老机型，现在正在“返老还童”，二十年前造出来的设备重新上阵，继续发光发热。 但真正让阿斯麦动心的，不是中国买不买，而是中国开始自己造了。 他们清楚这意味着什么。 一旦中国掌握干式光刻设备的全部核心部件，未来是否可能继续向前推进，谁也不能断言不会。 而一旦有了量产经验、有了完整产业链，再往上爬一级台阶就不只是口号。 这几年，中国在光刻机配套环节也没停下。 比如光刻胶、掩模版、控制软件，这些原来依赖进口的东西，现在都有企业开始搞国产替代。 有的还进入量产，有的虽还在打样，但路子已经跑通。 行业内都知道，光刻机是一套系统，不是光靠一个主机就能干活。 真正难的是集成，是整个光刻生态。 而现在，这个生态正一点一点地从零开始补上来。 政策上也在加速推动。 从中央到地方，不少产业园区开始围绕光刻设备布局，一些城市甚至组建专班，只盯住设备供应链。 设备厂、材料厂、测试线、封装厂被捆绑成一个体系，谁卡脖子就集中资源突破谁。 干式DUV作为入口，不是终点，而是起点。 所以，阿斯麦才会罕见发声。 他们不是担心某一台设备的性能，而是担心对手的决心。 他们当然知道，从一台国产光刻机发布，到全面替代进口还有很长距离。 但他们也清楚，这一步一旦迈出，后面就不会停了。 现在来看，中国用的这条路，正是当年日本和韩国曾经走过的方式。 不是一口吃成胖子，而是从成熟节点起步，一步步吃掉中低端市场，稳扎稳打。 日本在九十年代就是靠干式光刻技术打基础，韩国则在液浸式光刻上追赶，再到后来才有了先进制程。 如今轮到中国站到起跑线上。 最后回头看那段采访，德格鲁特虽然没有说太多，但他那句“我们感到不安，也感到兴趣”，已经足够说明问题。 行业里的人都听懂了。 这不是警告，更像是敬意。 一个巨头对一个后来者表达“兴趣”，说明这个后来者的速度和方向已经开始影响原有格局。 光刻这事，不看口号，只看设备能不能开机，产品能不能流片，客户愿不愿意下单。 现在，中国光刻机正在一步步变成真东西。 参考信息： ASML高管：中国光刻机进展让我们感到不安·观察者网·2024年9月17日
