突破！突破！突破！ 中国有了自己的光刻机！ 据凤凰新闻，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州出炉，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
这台名为 “羲之” 的光刻机，是由浙江大学余杭量子研究院团队自主研发的。研发团队给它取这个名字，是因为它就像书法家王羲之的毛笔一样，能在芯片上实现纳米级的精密 “书写”。只不过，这把 “毛笔” 的 “墨水” 是高能电子束，“纸张” 则是硅基芯片。
“羲之” 到底有多厉害？其加工精度达到了惊人的 0.6 纳米，相当于人类头发丝直径的十万分之一。
这个精度是什么概念呢？国际主流的 EUV 光刻机精度通常在 5 纳米左右，而 “羲之” 直接把这个数字缩小了近 10 倍。更牛的是，它的线宽控制在 8 纳米，这意味着它能在芯片上刻出比头发丝还细上万倍的电路。
这样的精度，对于量子芯片研发来说至关重要。量子芯片的核心是量子比特，每个量子比特的尺寸都在纳米级别。
以前，中国的科研机构因为国际出口管制，长期无法采购到高精度的光刻机，量子芯片研发一度陷入困境。而现在，“羲之” 的出现彻底打破了这一局面。
与传统光刻机不同，“羲之” 采用的是无掩膜直写技术。简单来说，它不需要像传统光刻机那样制作昂贵的掩膜版，而是通过高能电子束直接在硅片上 “手写” 电路。
这就好比从雕版印刷直接升级到了活字印刷，研发人员可以随时修改设计图案，大大提高了研发效率。以前，芯片研发初期需要反复制作掩膜版，成本高、周期长。现在，有了 “羲之”，研发人员可以像在纸上画画一样，随时调整电路设计，研发周期从几个月缩短到了几天。
这样的技术突破，背后是浙江大学团队多年的努力。研发团队负责人透露，为了攻克精度难题，他们花了无数个日夜调试设备，仅校准仪器就进行了上千次试验。
最终，他们成功突破了传统电子光学系统的衍射极限，开发出新型电子束整形技术，使束斑直径稳定控制在亚纳米级别。
“羲之” 的诞生，不仅是技术上的突破，更是战略上的胜利。长期以来，光刻机一直是中国半导体产业的 “卡脖子” 技术。国际上的高端光刻机几乎被荷兰 ASML 等少数几家公司垄断，而且还受到严格的出口管制。
中国的科研机构和企业想买一台先进的光刻机，不仅要花天价，还要看别人的脸色。而现在，“羲之” 的出现，让中国在量子芯片等前沿领域有了自主可控的研发工具，不再受制于人。
更让人振奋的是，“羲之” 的定价低于国际市场均价。据了解，复旦大学、华为海思等 12 家机构已经抢先签约，迫不及待地要把这台 “中国刻刀” 投入使用。
这不仅降低了国内科研机构的研发成本，还将推动整个半导体产业链的升级。从光刻胶到特种气体，从真空系统到高精度传感器，“羲之” 的诞生带动了数十家配套企业的协同突破，初步形成了 “设备 - 材料 - 芯片” 的创新生态。
当然，“羲之” 也并非完美无缺。与传统的 EUV 光刻机相比，电子束光刻因逐点扫描的特性，曝光速度较慢。比如，制作一片 12 寸晶圆，EUV 光刻机可能只需要几十分钟，而 “羲之” 则需要更长时间。
不过，对于量子芯片等小批量、高精度的研发需求来说，速度并不是首要考虑的因素。而且，研发团队已经在着手改进，计划通过多电子束并行或 AI 优化曝光路径等技术来提升效率。
“羲之” 的突破，离不开国家层面的支持。国家大基金三期专门将超 50% 的资金投向光刻机、EDA 等关键领域，上海、深圳等地也出台了最高 4000 万元的设备采购补贴政策。这些政策的支持，为中国半导体产业的自主创新提供了坚实的后盾。
从 “两弹一星” 到载人航天，从高铁到 5G，中国在科技领域的突破从来都不是偶然。这次 “羲之” 的诞生，再次证明了中国科技工作者的智慧和毅力。
正如中科院微电子研究所的专家所说：“这不仅是设备的突破，更是创新范式的变革。” 在未来的量子计算、人工智能等领域，“羲之” 将发挥不可替代的作用，为中国抢占科技制高点提供强大支撑。
中国有了自己的光刻机，这是一个历史性的时刻。它标志着中国在高端半导体装备领域迈出了关键一步，也为全球半导体产业的发展注入了新的活力。
正如网友所说：“西方堵死了一条路，我们就开辟另一条路。” 在科技自主创新的道路上，中国正以坚定的步伐，一步步走向辉煌！
电子束直接到硅片，效率肯定非常低的。可能无法实现大规模的商业化生产。之所以用e uv光刻机，是因为它可以像照相制板一样，只需要曝光一下，就可以把电路直接刻在硅片上，速度还是很快的，非常适合商业应用
5plus5
用电子束刻硅片，要多大的能量？怀疑。
苏米 回复 08-23 07:21
优点是可以切出几乎垂直的沟道，深度大，适合今后的晶体管立体电路结构。
苏米 回复 08-23 07:23
这条电子束刻技术路径也有快30年历史了，国外甚至有量产计划，然而在生产效率上比光刻机差太多，完全没有性价比。
用户24xxx40
技术很先进，好像是效率低，光刻一块晶圆需要半年
用户10xxx55 回复 08-24 19:40
不计较多上百倍成本当然可以
用户52xxx11 回复 用户10xxx55 08-25 05:26
大哥你没看明白我的意思。我说的是任何技术只要得到了突破在中国成本立马下降。比如CT机。进口的CT一台都是上千万，但是同类国产的CT技术得到了突破立马降到了几百万一台。
道可道
这就是一台配套芯片设计的机器，就好像办公室用的打印机，少量打印是可以的，如果要打印成千上万份材料，就要送到印刷厂用专业机器印刷。如果打印一份文件也要送到印刷厂制版印刷，那就成本太高了。
飛翔永恒 回复 08-23 22:54
专业人士[点赞]
LeeBe
不管怎样，支持技术突破，不断进行改进突破
上善若水
现在的7纳米芯片是指精度7纳米还是线宽7纳米？这篇文章把我看糊涂了。这个电子束光刻机相当于多少纳米的呢？
苏米 回复 08-23 07:29
自从10年前进入20纳米，到现在还是20纳米，主要改进把平面结构改成立体结构，使得每平方毫米上叠加晶体管翻了三番到今天等效3纳米。等效❗学校上下床铺可以睡两人，火车上上中下三铺……明白❓
上善若水 回复 苏米 08-23 17:49
厉害。原来是这样啊。
评论员
不知道清北最近有什么对国家巨大贡献的研究
眼镜蛇
浙大牛逼！！[点赞][点赞]
姑苏剑
吹牛逼没有用。能生产集成电路，以后再说吧。
杨春林
啥都会有的！这就是中国人的底气！
好象是个当兵的
为科学家点赞
淺斟低唱
真的假的，也没见其他媒体报道。。又他妈是自媒体意淫的吧？？
南若妖
牛都能上天
用户90xxx67
可以用这个雕刻模板，然后用光刻机照射模板，模板后面的硅片，电路就这样刻上去了
用户90xxx67 回复 用户13xxx36 08-24 05:47
用20-30个雕刻好的模板拼在一块，直接用大光束照射，这不比通过照射一个放大的模板然后缩小成像来得简单？
用户13xxx36 回复 08-23 23:01
模板本来就是雕刻出来的，根本不需要用精度这么高的机器来雕，因为模板可以做的很大，照的时候把模板照小就行了。难点在于模板造出来之后，缩小投影很难做到精度达标。
Rainsea
大学不要做企业的事情，你只是山寨别人的东西，不是创新
把拔 回复 08-24 05:35
你在搞笑吗？中国科技创新从学校里出来的不计其数。你以为真的是所有企业都会发明创造？山寨最多的才是企业。做课题写论文抄别人的发表出去？那些博导带着博士博士后过家家？
汪擎鹏
吹还是真的？
用户29xxx55
为浙江大学科研团队欢呼庆贺，为祖国欢呼庆贺，祖国万岁。
红叶781117
虽然说我是上海人，但是我只想对复旦大学说一句“你们想多了”！等你们什么时候把国家补助的款项切切实实的用在国内的寒窗苦读的学子身上再去考虑申请吧！我就怕你们一但买到转身就把机密核心数据泄露给了敌对国家！
tk
效率低不怕，多造几百台就行了。
用户14xxx14
从“无”到“有”，这是振奋人心的战略级突破！
天高云淡
这不是弯道超车，这是自己另修条不一样的路行！
上善
手工画画与印刷的区别
思远志华
不管怎么样，国家的每一次进步，我都心情愉悦，但是希望低调一些！
用户86xxx78
两个用途方向的 效率太低了 没啥用 在研发上不错 节约成本 但是没法用于批量生产
用户15xxx92
这是真有了
迟来的爱
你负责描写，专家负责实现[并不简单]
大王叫我来巡山3
卷死丫的
用户10xxx55
成本也是几何级别的
用户10xxx55
不能量产，就是一个用毛笔一个用复印机区别。都可写，效率差上百倍。
寄存器
一个好比是打印机，一个好比是复印机。
mmm1233
传统光刻机是用于大批量曝光生产，电子束光刻机是直接雕刻生产，相当于一个是印刷一个是手写，两者效率相差成百上千倍……
海风
先做出来再改进提升效率
成枫破浪
速度太慢了
用户56xxx05
做好保密工作
用户10xxx52
谨防汉奸出现！
用户18xxx49
听过突破太多了，到底哪次是真的，都搞糊涂了
邱道金T_T
祖国万岁
用户51xxx43
速度慢，我就增加机器数量
那个谁谁谁
不知道可信度有多大？
老帅哥
自媒体的东西不要信，但就有一些人根着忽悠。
众中之众
这是写错了 还是没打草稿呀？ “羲之”到底有多厉害？其加工精度达到了惊人的0.6纳米，相当于人类头发丝直径的十万分之一。 这个精度是什么概念呢？国际主流的EUV光刻机精度通常在5纳米左右，而“羲之”直接把这个数字缩小了近10倍。更牛的是，它的线宽控制在8纳米，这意味着它能在芯片上刻出比头发丝还细上万倍的电路。
用户10xxx51
黄毛脸又要发青了。
星际玩笑
羲之不是光刻机，自媒体专业素养……算了跟他较什么劲
姜太公
伟大的中国科技工作者们万岁
爱不到忘不了
中国人民缺什，就有人能造什么，
苍海一粟
如果中国能够量产，将荷兰的光刻机搞破产。
狼雅
荷兰领导说我们要破产了[哭笑不得]
山海经列传
电子束跟压印都扯淡骗补贴的，这玩意量产圆晶就是开玩笑
用户19898
当年医院进口ct机一台3千万，院长笑纳800个，现在国产ct机300万，院长哭拿80个
阿玉
希望能弯道超车，让他们的光刻机变成永久的库存！
用户15xxx97
只是踏出了第一步，还有很长的路要走。生产效率与良品率才是关键中的关键。
纸老虎
一个月刻一片和人家一分钟刻150片。路还很长啊
大伟
该将专家保密保护了！！
懒得想名字
保护好，别又让美日韩偷走了
真的假不了
[滑稽笑]
用户40xxx44
可以小规模生产，有总比没有好
把拔
老罗开锣
还是以官媒发表的为主吧！
用户70xxx47
只有中央一台播的我才相信
之乎者也
既然插画为余杭政府网，那你怎不直接说据余杭政府网报道？
王辉
不要当白菜价卖了就行，也要对外技术封锁
狂拽酷帅
看见了吧，人类发展的最好意识形态就在中国
用户99xxx69
真的吗
伏地青禾
在科技道路上，每一次进步都是值得庆贺！为我们的院士、教授、科研工作者们点赞！[点赞][点赞][点赞]
醒悟
清华，北大都还忙做留学生委培基地吗？？？？[好生气]对得起一年几百亿财政拔款吗？？？？？
A石头
太好了，祖国万岁
用户10xxx35
世界半导体技术已从0走到了1，再从1到100的过程一定比先前的0到1快的多。同一种技术的商业应用，可以有不同的工程表达方式路径，都能达到大致相同的结果。只要中国的科学家们决心对光刻机进行研发生产，就一定会让中国有意想不到的满意结果，说不定还能找到一条比现有半导体技术更先进的方法或芯片样态，也一定会给以美国为首的先进半导体同盟国沉重一击，重塑世界科技版图这一天的到来一定不会遥远，请大家拭目以待。