光刻机的极限是13.5nm，很多人都以为3nm、5nm都是因为先进EUV做的。因为EUV光刻机能做到极限波长为13.5nm的光源，其他不够先进的光刻机做不到极限波长的光源，就需要更复杂的多重模板曝光，良率就没法保证。13.5nm以下是靠刻蚀机和模版继续发展，这就是制程。
一觉醒来，李彦宏天都塌了，网友们记忆力咋那么好？原来去年7月，李彦宏曾在会上
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光刻机的极限是13.5nm，很多人都以为3nm、5nm都是因为先进EUV做的。因
玮磊惠卿评体育
2025-01-07 00:56:24
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![刘作虎：只有真的薄，才敢做直边。[滑稽笑]](http://image.uczzd.cn/18253317553368992312.jpg?id=0)
娇子牌香烟
国产的EU∨光刻机快来了！！果然是阻力越大动力就越强啊！
匆匆那年 回复 淡然一笑 02-18 20:35
慢慢来
淡然一笑 回复 02-18 20:07
从无到有，科技这东西研发要钱，人才，时间缺一不可
酬谢酬谢行
這些不知道是否也是這樣子被刻出來的[呲牙笑][红脸笑][眯眼睛笑]