我国首次发布硅-28硅烷特气与外延片成果,补齐硅基量子芯片上游材料短板[并不简单] 成果发布概况 • 10月22日消息,在近日举行的第二届量子科技前沿论坛上,硅及先进半导体材料全国重点实验室、浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队,国内首次发布了硅-28硅烷特气与外延片两项成果,为硅基量子芯
我国首次发布硅-28硅烷特气与外延片成果,补齐硅基量子芯片上游材料短板[并不简单]
成果发布概况
• 10月22日消息,在近日举行的第二届量子科技前沿论坛上,硅及先进半导体材料全国重点实验室、浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队,国内首次发布了硅-28硅烷特气与外延片两项成果,为硅基量子芯