A股：光刻机，中报增长较快的10家公司（最新版）
第十名：芯碁微装
细分领域：直接成像设备、直写光刻设备
成长性：2025中报归母净利润同比增长41.05%
光刻机：公司以微纳直写光刻技术为核心，产品包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等，功能涵盖多领域光刻环节。
第九名：晶方科技
细分领域：传感器领域的芯片封装及测试
成长性：2025中报归母净利润同比增长49.78%
光刻机：荷兰子公司服务国际领先的光刻机厂商，旗下光学器件产品主要应用于光刻机半导体设备、工业自动化等应用领域。
第八名：江丰电子
细分领域：超高纯金属溅射靶材、半导体精密零部件
成长性：2025中报归母净利润同比增长56.79%
光刻机：公司研发的半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目，开发多层钛合金扩散焊接技术，其制备的光刻机核心冷却部件已进入量产阶段。
第七名：国林科技
细分领域：全系列臭氧发生器、臭氧系统集成设备等
成长性：2025中报归母净利润同比增长59.97%
光刻机：子公司国林半导体臭氧设备产品陆续在半导体、面板、科研等领域出货验证，该产品用于晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。
第六名：赛微电子
细分领域：MEMS芯片的工艺开发、晶圆制造及半导体设备业务
成长性：2025中报归母净利润同比增长98.48%
光刻机：公司为全球光刻机头部厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。
第五名：茂莱光学
细分领域：精密光学器件、高端光学镜头及先进光学系统
成长性：2025中报归母净利润同比增长110.36%
光刻机：公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件及投影物镜等组件，是光刻机实现光纤均匀性与曝光成像的核心模块。
第四名：凯美特气
细分领域：氢气及燃料类产品、高纯电子特气
成长性：2025中报归母净利润同比增长199.82%
光刻机：公司电子特种气体技术处于行业领先水平，可用于半导体、航空航天等领域，旗下光刻机产品获ASML子公司的合格供应商认证。
第三名：中光防雷
细分领域：防雷产品和防雷工程一体化的整体解决方案
成长性：2025中报归母净利润同比增长321.87%
光刻机：公司根据国产光刻机领域应用要求，定制研发高性能超大通流浪涌保护器，已在样品阶段。
第二名：同飞股份
细分领域：液体、电气箱等工业温控设备
成长性：2025中报归母净利润同比增长466.71%
光刻机：公司液体恒温设备主要应用于光刻机、刻蚀机、研磨抛光机等关键设备的温度控制。
第一名：海立股份
细分领域：压缩机及相关制冷设备、汽车零部件产品等
成长性：2025中报归母净利润同比增长693.76%
光刻机：公司为高端光刻机厂商上海微电子的相关设备提供封装光刻机的冷却系统配套，并进行系统级供应合作，现已实现供货。
