光刻机禁运史 2019年，荷兰在美国的压力之下向中国禁售EUV。 2020.8.17，美国商业部宣布，任何使用美国设备和软件为华为生产产品都要获得许可证。 2020.12.18 ，美国商业部宣布将中芯国际列入“实体清单”，10纳米及以下设备不给予许可。 2022.10.7，美国商业部工业安全局发布对中国集成电路先进制程的限制法案。16/14纳米及以下FinFET和GAA逻辑器件，18纳米及以下的DRAM器件和128层及以上的Falsh器件，不得提供设备。 2022.12.15 ，美国商业部工业安全局将长江存储、上海微等36个中国公司列入"实体清单”。 2023.6.30，荷兰发布有关半导体设备出口管制的新条例，涉及2000i及后续推出的浸润光刻系统。 2023.9.1，ASML获得荷兰政府颁布的许可证，在2023.9.1-2023.12.31期间内允许发运2000i及后续推出的浸润光刻系统。 2024.9.7，荷兰政府公布新的出口管制规定，就1980i和1970i的出口，ASML需要向荷兰政府申请许可而非美国政府。
