2024年7月,阿斯麦(ASML)公布第二季度财报,中国大陆市场在其系统销售额中的占比达到49%,和第一季度基本持平。
一家荷兰设备企业,将近一半的系统销售额来自中国大陆客户,这个数字在当时引起了不少外媒的注意。
美国一些研究半导体的人,看的并不只是销售额,他们更想知道这些设备运到中国以后去了哪里。
在美国芯片政策圈,有一句话被反复提起,大意是中国人本身并不可怕,可怕的是买了光刻机,却不只是拿来造芯片。
据国内媒体2026年10月的梳理,在持这类看法的人里,《芯片战争》作者克里斯·米勒的影响最大。
这本书在2022年10月出版,之后常被美国政界和智库拿来讨论对华芯片政策。
订单越下越多,疑虑越传越广
这句话听着有点绕,其实意思不复杂。
按照这类观点,美方并不在意中国多生产几片成熟制程的晶圆,因为这一块的市场本来就竞争激烈。
他们在意的是另一件事,也就是光刻机进入中国以后,会成为工程师研究工艺的参照对象。
机器每运行一天,围着它工作的人就多积累一天经验,设备、材料、工艺之间怎么配合,也会被一点点摸清楚。
在这些美国研究者看来,一台光刻机在中国产出的不只是芯片,还有一整套能力。
这种判断是怎么来的,还得从阿斯麦那几年的订单看起。
2019年,美国方面游说荷兰政府,阿斯麦的极紫外光刻机,也就是EUV,没能交付给中国客户。
EUV是制造7纳米以下先进芯片的关键设备,全球目前只有阿斯麦能够量产。
既然EUV买不到,中国企业能合法采购的,主要就是深紫外光刻机,也就是DUV。
在各国管制规则正式落地之前,中国企业对这类设备的采购量增长很快,阿斯麦2024年的财报数据也印证了这一点。
一些美国研究者据此提出,中国采购的设备超过了新建产线的实际需要,多出来的一部分可能进了研究机构,用于工艺训练。
这种推测有没有依据,外界并没有公开统计能够印证,但它确实影响了美国后来的政策走向。
美国商务部在后续修订规则时,专门加强了对设备转手、境内转移等情形的审查,也就是所谓的最终用途管控。
有意思的是,美国人对这套逻辑并不陌生。
上世纪八十年代,日本的尼康、佳能在光刻机市场上一度超过美国企业,美国厂商的份额被大幅压缩。
经历过这段历史,美国人看到中国企业大量采购设备,很自然就会往同一个方向联想。
门槛越抬越高,规则越修越细
疑虑一旦形成,管制就开始一轮接一轮地加码。
2022年10月7日,美国商务部工业与安全局发布出口管制新规,把先进计算芯片和部分半导体制造设备纳入限制。
时任美国国家安全顾问沙利文公开表示,在先进逻辑芯片和存储芯片这类基础技术上,美国必须尽可能保持较大的领先优势。
《纽约时报》当时刊发的评论文章,把这套规则的意图归结为让中国永远追不上。
到了2023年,管制范围从美国延伸到日本和荷兰。
日本从2023年7月23日开始,对23类半导体制造设备实施出口管理。
荷兰政府在2023年6月30日公布新规,并于2023年9月1日生效,部分先进DUV浸没式光刻机出口需要申请许可。
2023年10月17日,美国商务部再次更新规则,更多型号的深紫外设备被纳入限制范围。
《纽约时报》在2023年10月23日的报道中提到,美方认为只要境外生产的设备含有美国制造的零部件,就可以对其进行管辖,这种做法在美国监管史上并不常见。
2024年4月4日,一份160多页的出口管制修订条例生效,新增了对EUV掩膜、刻蚀等环节设备的管控。
2024年9月6日,荷兰政府又把阿斯麦1970i和1980i两款DUV浸没式光刻机的出口许可权收归本国管理。
2024年12月2日,美国商务部宣布新一轮措施,涉及高带宽存储芯片和多类半导体设备,同时把140家实体列入实体清单。
从2022年到2024年,美国在3年里多次调整规则,更新间隔从1年左右缩短到半年左右。
规则改得这么频繁,也说明美方一直在补自己发现的缺口。
2025年9月29日,美国商务部发布所谓的"关联方规则",把实体清单的限制扩大到被清单企业控股50%以上的子公司。
这项规则引发了较大争议,2025年11月,美方宣布暂停实施一年。
光刻机这件事上的拉锯,到这里仍没有结束。
设备可以禁运,积累无法封锁
把镜头转回国内,会发现中国在光刻机上的努力,起步其实并不算晚。
据公开资料,1966年前后,中国科学院相关单位与上海光学仪器厂协作,研制出65型接触式光刻机。
后来因为产业基础薄弱,加上长期受到技术封锁,中国在这一领域和国际先进水平拉开了差距。
2002年,上海微电子装备有限公司成立。
公司创始人贺荣明在公开场合讲过一段经历,公司刚成立时他带队去欧洲考察,当地专家说,就算把全套图纸给中国人,中国人也造不出光刻机。
后来的事情大家都知道,上海微电子造出了光刻机,并且一直在往前推进。
问题恰恰出在这里,光刻机的难点从来就不只是一张图纸。
陕西省工业和信息化厅在2023年8月15日发布的文章中介绍,光刻机的工作原理更接近照相,是把掩膜板上的图案投射到晶圆表面的光刻胶上。
要做到这一点,需要极其精密的光学系统、运动控制系统和配套材料,哪个环节稍有偏差,良率就会受影响。
所以光刻机研发拼的是整条产业链的协同,美国专家担心工艺和人才的积累,原因也在这里。
国内的投入,正是按照产业链整体推进的思路展开的。
2023年8月29日,华为Mate 60系列手机开售,所搭载的麒麟芯片引起国际媒体广泛关注,不少外媒都在追问它在管制之下是如何生产出来的。
2024年5月24日,国家集成电路产业投资基金三期正式成立,注册资本3440亿元人民币,规模超过前两期,投向覆盖设备、材料等多个环节。
2024年9月,工业和信息化部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,其中收录了两款国产光刻机。
目录写明,其中的氟化氩光刻机分辨率不超过65纳米,套刻精度不超过8纳米。
这类目录的用意,是让国产重大技术装备进入实际生产,帮助企业积累使用数据。
对半导体设备来说,能进产线比在实验室里做出样机更关键,因为稳定性和工艺适配性只有在大规模生产中才能得到检验。
在美国业界,也有人早就提醒过这条路的走向。
2023年5月,英伟达首席执行官黄仁勋在接受英国《金融时报》采访时表示,芯片领域的对抗可能给美国科技行业造成巨大损害。
他说,如果中国不能从美国买,就会自己造,美国必须小心。
他还提到,中国是科技行业非常重要的市场,一旦失去这个市场,企业并没有应急方案。
这番话和那句流传已久的说法,其实讲的是同一个现实。
美国想通过管制把中国限制在成熟制程,可管制越严,中国推进自主研发的速度反而越快。