当 7 架波音 747 运输机组成的 “空中舰队”,小心翼翼地运送着 250 个精密货箱,人类半导体工业史上最昂贵的设备 —— 价值 4 亿美元、重达 180 吨的 High-NA EUV 极紫外光刻机,终于在 2025 年 5 月 27 日的央视镜头下展露真容。这台被称为 “芯片雕刻巨兽” 的精密仪器,每一道光刻都在纳米级尺度上进行,其复杂程度堪比在一粒沙上建造一座城市。
作为 “半导体工业皇冠上的明珠”,极紫外光刻机掌握着芯片制造的核心密码。它利用波长仅 13.5 纳米的极紫外光,在指甲盖大小的硅晶圆上,以病毒千分之一的精度,刻画出上百亿个晶体管。为实现这一 “纳米级艺术”,科学家们研发出每秒数万次激光轰击液态锡靶的尖端技术,且整个光刻过程必须在真空环境中进行,如同在太空中完成一场显微手术。
尽管技术如此先进,全球芯片巨头们却对其态度谨慎。目前全球仅交付五台 High-NA EUV 光刻机,英特尔、台积电和三星各获一台。台积电技术负责人坦言,尚未找到足够理由证明这笔巨额投资的必要性。毕竟,近 4 亿美元的天价,是传统设备的两倍有余,即便财大气粗的芯片巨头,也不得不精打细算。而这背后,更隐藏着美国试图重夺芯片制造主导权的战略布局。
在大国科技博弈的棋局中,光刻机早已成为兵家必争之地。全球能生产 EUV 光刻机的企业,仅有荷兰 ASML 一家。美国政府近年来多次施压荷兰,限制 EUV 光刻机对中国的出口。2025 年初的政策收紧,直接导致 ASML 股价暴跌 13%,全球半导体市场随之震荡。
然而,技术封锁并未阻挡中国自主创新的步伐。央视报道中,中国光刻机产业链的突破令人振奋:上海微电子的 90 纳米光刻机已实现量产应用,28 纳米技术进入最后冲刺阶段;晶瑞电材成功研发 7 纳米制程用光刻胶;中科院全固态深紫外光源技术的突破,使设备体积缩小 30%、能耗降低 50%,理论上可支持 3 纳米芯片制造。
历史经验告诉我们,技术封锁往往是创新的催化剂。上世纪 70 年代,日本打破美国 DRAM 技术垄断;21 世纪初,中国自主研发出 “复兴号” 动车组。如今,当央视将镜头对准这台全球最先进的光刻机,既是对产业现状的科普,更是对自主创新的鞭策。正如 ASML 首席执行官所言:“阻碍中国的发展是最错误的选择,因为中国总能找到突破的方法。” 在这场没有硝烟的科技战争中,中国正以坚定的步伐,走出一条属于自己的创新之路。

