真空镀膜工艺中，电源系统在沉积、溅射和等离子激发过程中承担能量传递与控制的关键任务。传统真空镀膜电源在放电与靶材反向击穿期间存在显著能量浪费，尤其在反向电弧或负载突变时，大量能量被以热损形式消耗。能量回收新机制的提出旨在将放电瞬间的反向能量有效吸收、转换并再利用，从而提升系统整体能效与稳定性。

该机制的核心在于双向能量流控制与储能单元的协调设计。通过在主功率回路中引入双向DC/DC变换模块，可实现能量的双向传输。当靶极电压突然塌陷或反向电流产生时，控制系统检测到能量回流趋势，立即切换变换器工作模式，将多余能量导入储能电容或超级电容组中；在下一个脉冲周期中，再将回收能量重新注入主电路。这样可显著减少输入电网的能量波动，同时降低器件热应力。

在控制层面，能量回收模块需要具备微秒级响应速度。通过使用数字信号控制器（DSC）或FPGA实现实时电压电流采样，并采用预测性能量流算法，可在电弧发生前提前预判能量回流路径，提前触发吸收通道。部分设计中还引入电感能量暂存结构，将反向能量以磁能形式暂时储存，进一步提升回收效率。

热管理是能量回收机制的重要配套环节。由于电弧产生的不稳定能量可能导致元件瞬时过热，系统需采用分区热分流与液冷结构，实现局部快速散热。同时，为确保回收系统不干扰主电源输出稳定性，电磁隔离设计与同步调制策略被广泛应用。整体来看，真空镀膜电源的能量回收新机制不仅显著提高了能量利用率，也增强了系统在高频放电环境下的可靠性与寿命。