一图看懂光刻胶驻波，为什么让线宽周期摆动
为什么光刻胶厚度只变了一点，线宽却忽大忽小，而且还呈周期变化？

根因不是胶厚直接决定线宽，而是胶层构成了一个薄膜干涉系统。曝光光进入光刻胶后，一部分到达基底并反射回来；入射光和反射光叠加，在胶深方向形成明暗相间的驻波。

驻波会让不同深度的光化学反应程度不同。显影后，轻则出现侧壁波纹，重则形成底部残胶、缩颈或反入射轮廓。

更关键的是：当胶厚改变时，光在胶内的往返相位也随之改变。某些厚度增强光耦合，某些厚度削弱光耦合，于是固定曝光剂量下的有效曝光量周期变化，CD便沿着“摆幅曲线”忽大忽小。
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