中国刻蚀机之父——尹志尧

　　芯片制造两大核心装备，一是家喻户晓的光刻机，二便是刻蚀机。刻蚀，就是在硅晶圆上雕刻亿万条微型电路。很长一段时间，这项核心技术牢牢掌握在美国、日本少数巨头手里，是我国芯片自主路上最难啃的硬骨头。扛起国产刻蚀机突围大旗的人，就是尹志尧博士。
　　尹志尧早年在海外半导体行业深耕，身居高管，待遇优厚。2004年，已经60岁的他，本可以安安稳稳安享晚年，却怀着一腔报国之心，毅然放弃国外优越条件，邀约一批海外华裔技术人才回到上海，创办中微半导体，一心要造出中国人自己的高端刻蚀机。时光流转，如今尹志尧已是82岁高龄，依旧坚守在科研一线潜心攻关。
　　自主研发之路步步是坎。高端刻蚀涉及等离子物理、精密材料、精密控制等诸多前沿学科。项目启动之后，资金压力、技术难关接踵而至。海外巨头感受到威胁，接连发起专利诉讼，想方设法阻拦中微向前发展。尹志尧带领团队一关一关攻坚克难，逐条打磨技术专利，沉着应对每一场涉外官司，重重阻碍全都一一化解，拿下上千项自主专利。
　　数年埋头苦干，团队成功研发出5纳米刻蚀设备，顺利通过国际产线工艺验证，跻身世界第一梯队。拿下5纳米的重大成果，尹志尧没有停下脚步，带领团队持续迭代攻坚，设备工艺能力继续拓展，实现可以覆盖3纳米先进制程。大家看到的只是制程数字的突破，背后是无数次反复试验调试，每一步都饱含艰辛。
　　这台国产刻蚀机两项硬核指标十分亮眼：加工精细度可达百万分之一量级，整片晶圆温度误差牢牢控制在0.7摄氏度以内。千万不要小看温度控制，很多高端装备，从战机到舰船，温度管控都是一大难题，温差稍有超标，产品就会报废，能稳定做到0.7℃以内，是实打实的硬实力。设备不仅供给国内芯片工厂，海外头部厂商也下达订单，国产刻蚀机全球市场份额稳步提升。国内北方华创等企业同步发力，国产刻蚀装备多点开花。
　　尹志尧一直牵挂国内半导体人才建设，多次呼吁重视半导体专业人才培养，搭建优质科研平台，吸引更多有志之士投身芯片事业。
　　六十岁归国创业，八十二岁奋战科研一线，冲破海外技术封锁，接连拿下5纳米、3纳米刻蚀技术突破，支撑他一路走下去的，是炽热的爱国情怀。正是有尹志尧这样默默为国攻坚的科研先行者，国产半导体装备才从跟跑走向突围。期待更多大国重器不断创新面世！资料来自权威媒体

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