#多只半导体设备ETF涨超4%# 半导体设备ETF广发、科创半导体设备ETF华夏、半导体设备ETF易方达等多只半导体、科创半导体主题ETF涨超4%。成分股上，北方华创涨超6%，中微公司、拓荆科技等跟涨。 ​