这两天的半导体其实有一个好消息 中微公司自研的全球首台气相高选择性刻蚀设备Primo Domingo交付国内某重要集成电路研发制造客户使用 这个某重要集成电路研发制造客户，来自深圳，在做5nm工艺 该机型主要适配GAA、3D NAND闪存、3D DRAM存储 其中GAA是3nm及以下芯片的主流架构 ​