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(在2026年10月的工博会上,国产化率达90%的EUV光源样机首次公开亮相,标

(在2026年10月的工博会上,国产化率达90%的EUV光源样机首次公开亮相,标志着国产高端光刻机“心脏”迈出产业化关键一步,但距离工业级量产仍需跨越巨大的工程鸿沟。)光源样机亮相确实是技术验证的里程碑,但15W功率和商用需要的数百瓦之间,隔着的不仅是时间,更是系统工程能力。光刻机的难点从来不在单点突破,而在于上万个部件长时间协同工作的稳定性。驱动激光、光学系统、工件台必须同时到位,任何一环卡住都无法量产。90%国产化率说明供应链在搭建,这比样机本身更有价值。3到5年是乐观估计,ASML从实验室到工厂用了二十年。现在的样机像是证明了我们知道怎么造发动机,但离造出能飞的客机还远。这条路注定漫长,但开始走总比等着强。