你问我答保守估计中国自主国产EUV要三年出样机，目前仍处“子系统突破+样机验证”阶段，未交付量产机。上海微电子牵头整机集成，已验证13.5nm光路与反射成像，但非量产型。

四大瓶颈里，双工件台（华卓精科）进展最实；光源走LPP/DPP/SSMB多路线，13.5nm能出光，但稳定功率、寿命远不及ASML的250W+；光学系统（长光所、国望）卡在原子级面形误差与Mo/Si多层膜良率，需追平蔡司数十年积累；整机控制、套刻精度、产线可靠性才是真正硬骨头。

现实节奏：2026–2028做模块与晶圆验证，2030年前后小批量导入，2030–2035才有望支撑先进制程量产。短期别信“2026量产”的传闻，长期也别信“永远造不出”。

并行策略上，国产用DUV多重曝光做7nm级、靠3D堆叠和Chiplet补性能，先保成熟制程自主可控。