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华工科技TGV玻璃通孔装备&CPO光电共封装技术突破 在2026年,国内半导体先进封装领域迎来里程碑式重磅喜讯:华工科技攻克TGV玻璃通孔激光加工智能装备,激光器、振镜、控制系统三大核心部件实现国产化,完成整机定型与中试验证;并同步迭代CPO光电共封装光引擎技术,一举打破海外长达十年的独家设备垄 ​

华工科技TGV玻璃通孔装备&CPO光电共封装技术突破

在2026年,国内半导体先进封装领域迎来里程碑式重磅喜讯:华工科技攻克TGV玻璃通孔激光加工智能装备,激光器、振镜、控制系统三大核心部件实现国产化,完成整机定型与中试验证;并同步迭代CPO光电共封装光引擎技术,一举打破海外长达十年的独家设备垄断,补齐国产AI算力产业链极为关键的核心短板。

关键完整时间节点

1. 2026‑05‑30:华工激光官网发布技术稿件,披露TGV装备加工性能参数,公布最高8000孔/秒加工效率,但尚未官宣整机定型与中试验证结论。

2. 2026‑07‑10(权威官宣里程碑):深交所互动易、投资者关系活动正式对外披露,TGV玻璃通孔激光加工智能装备完成整机定型,三大核心部件国产化,顺利完成中试验证,标志设备走完样机‑研发‑中试全流程,国产高端TGV设备实现从0到1的突破。

3. 2026‑09‑09(深圳第二十七届CIOE中国光博会):现场完成3.2T‑CPO光引擎动态数据流点亮演示,光引擎基于自研TGV玻璃基板做2.5D共封装,正式对外展示“TGV装备‑玻璃基板‑CPO光引擎”完整闭环样机,进入头部客户样品验证阶段。

产业客观口径:装备完成整机定型、中试验证,尚未进入大规模商业量产交付;

3.2T‑CPO光引擎属于样机样品验证,大规模商用仍有待行业迭代推进。

一、国际竞争格局与全球地位

TGV玻璃通孔是后摩尔时代Chiplet、HBM高算力封装、CPO光电共封装的底层核心工艺装备,是下一代AI算力互联的卡脖子硬件。过去十年全球高端AI算力级TGV激光加工装备,长期由德国LPKF垄断,掌握LIDE激光诱导蚀刻成熟工艺;日本DISCO设备仅局限低端显示玻璃打孔,无法满足AI先进封装严苛指标;康宁掌握全球绝大多数高端TGV玻璃原片供给,海外整套设备‑材料‑工艺链条形成闭环,国内企业只能高价进口设备,采购成本高昂、交付周期漫长,严重制约国产CPO、玻璃基先进封装产业化进度。

华工科技TGV装备突破之后,成为全球仅有的两家具备高端AI算力TGV整机工艺能力厂商之一,正式跻身全球第一梯队。

核心对标德国LPKF,关键工程指标具备优势:最小加工孔径5μm,深径比可达1:100,通孔良率99.9%,最高加工效率8000孔/秒,较海外主流设备提升5‑8倍,实现冷加工低崩边、低热损伤,适配12英寸超薄玻璃基板,满足CPO、HBM、Chiplet高端封装要求;并且超快激光器、振镜、整机控制系统全部自研,摆脱核心零部件进口依赖,这一点在全球同类型设备厂商中属于稀缺能力。

短板客观说明:华工科技不生产玻璃原片母材;装备处于中试定型,尚未大规模商业出货,距离海外巨头多年量产工艺积累仍有持续迭代空间。

二、国内产业地位

1、国内唯一实现高端AI算力TGV整机定型+三大核心部件国产化的设备厂商。国内其余设备厂商仅可以完成大孔径低端玻璃打孔,达不到AI算力、CPO所需要的微米级高深径比指标,无法切入高端先进封装供应链,华工补齐了国产TGV加工装备这块最大短板。

2、国内少有的打通“TGV加工装备‑玻璃基板工艺‑CPO光引擎”三位一体闭环的企业。设备产出工艺,先在内部CPO光引擎项目打磨验证,再向外输出装备工艺方案,区别于单纯只做设备的厂商,大幅降低国内基板厂、封测厂工艺试错成本,加速整个国产玻璃基封装产业链成熟。

3、破解国产CPO产业链痛点:此前国内研发CPO光引擎,基板加工设备高度受制于海外采购;TGV国产装备落地,意味着国内不再完全依赖进口设备做玻璃基板加工,为国产3.2T、6.4T下一代高速光引擎的迭代提供装备底座,支撑AI算力光互联自主可控进程。

三、核心科技成果梳理

1、装备层面:TGV玻璃通孔激光加工智能装备自研光束快速偏转与同步定位技术,聚焦光斑压缩至1‑2微米;实现5μm最小孔径、1:100高深径比,百万孔洞目标1PPM缺陷率;每秒最高8000孔量产级加工效率;激光器、振镜、控制系统三大核心部件全部国产化,完成整机定型与中试验证,打破德国LPKF长达十年高端设备垄断,填补国内高端半导体TGV装备空白。

2、封装产品层面:3.2T‑CPO光电共封装光引擎基于自研TGV玻璃基板完成2.5D共封装,在CIOE光博会完成真实数据流动态点亮演示,进入头部算力客户样品验证。玻璃基板对比传统有机基板,高频信号损耗更低、尺寸稳定性更强,是未来超高密度算力机柜光互联的重要技术路线。

3、产业价值:补齐国产AI算力先进封装关键拼图后摩尔时代,单纯芯片制程提升越来越困难,先进封装成为性能提升的核心路径。TGV装备的突破,直接利好Chiplet芯片堆叠、HBM存储封装、CPO光电共封装三大国产算力赛道,降低国内产业链外部供应链风险,为下一代智算硬件自主可控打下硬件基础。

四、风险提示

TGV装备目前完成中试验证,尚未大规模商业交付;3.2T‑CPO光引擎处于客户样品验证,行业普遍预期玻璃基TGV大规模产业落地大致在2028年前后,短期业绩兑现存在不确定性;本文仅产业技术进展梳理,不构成投资建议。

华工科技:可以反复做工,低吸高抛!