ALD长的氧化铝怎么图形化？。最近在做器件的时候遇到个超级棘手的问题！我在金电极上面长了十几纳米的氧化铝（Al₂O₃），但这块圆形的区域的氧化铝（半径不到10微米）是我不想要的主要是我想在这个电极上通个电（大概3V左右），但这十几纳米的氧化铝挡着，它是能击穿通电还是直接绝缘啊？为了保险起见，我想把这层氧化铝在这个小圆形区域“掏”个孔去掉，然后再通电。但是！怎么去除啊？🤯 又不能整片去除，只能针对这个不到10微米的小圆圈操作。是有什么特殊的湿法腐蚀配合光刻胶掩膜的方法？或者是其他什么神仙操作？这到底咋搞才能不伤到下面的金电极又能把孔掏干净？有没有懂行的大神救救孩子，给个具体的工艺思路或者建议吧！