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中科院微电子所研发出了在利用DUV光刻机实现GAA的方式，不需要EUV光刻机也能

2026-08-21 19:14:07 七九三一科技

中科院微电子所研发出了在利用DUV光刻机实现GAA的方式，不需要EUV光刻机也能实现3纳米。中科院微电子所在FinFET和GAA方面的研发很深，且是能量产的那种级别，在前几年已经开始向海外收专利费了。

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如来神掌 1

2026-08-29 07:55

DUV实现GAA架构？这啥意思？你就用白光光刻机也能实现GAA架构啊！就是看关键尺寸粗细了。