国产半导体设备十大细分赛道龙头梳理

前道 / 后道 / 零部件全环节国产替代核心企业

1 $北方华创 sz002371$ ：平台型综合设备，全品类前道设备全覆盖，14nm 设备批量供货，成熟制程国产设

2 $中微公司 sh688012$ ：刻蚀设备，3nm 刻蚀设备完成验证，存储介质刻蚀国产市占超 95%

3 $拓荆科技 sh688072$ ：薄膜沉积设备，国内唯一量产 12 英寸 PECVD 厂商，存储薄膜设备市占领先

4 盛美上海：单片清洗设备，自研兆声波清洗技术，成熟晶圆厂批量导入，国内清洗设备本

5 华海清科：CMP 抛光设备，国内唯一 12 英寸 CMP 量产企业，长鑫存储产线市占超 60%，整体国产市

6 芯源微：涂胶显影设备，国内唯一能量产前道涂胶显影设备，ArF 浸没机型验证中

7 万业企业：离子注入设备，覆盖全能量段离子注入机，功率半导体产线批量导入

8 中科飞测：量检测设备，3D NAND 存储检测国产市占超 50%，打破海外寡头垄断

9 长川科技：后道测试设备，测试机、探针台、分选机全布局，国内数字测试机市占 25%

10 富创精密：精密零部件，真空腔体、静电吸盘核心供应商，零部件配套份额行业第一

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