半导体设备概念

事件驱动：长鑫存储推进 DRAM 扩产、长江存储迭代 3D NAND 产线，两大本土存储企业持续采购设备；存储产线投资体量高，国产各类前道设备导入加速，设备企业中长期订单预期上调。

前道核心整机$北方华创 sz002371$ ：多品类前道设备全覆盖，供货国内头部晶圆厂，充分受益成熟制程国产替代。$中微公司 sh688012$ ：存储高深宽比刻蚀设备实现国产化，适配 3D NAND 产线，存储扩产带来高业绩弹性。$拓荆科技 sh688072$ ：PECVD 薄膜设备配套存储产线，为长鑫、长江存储核心供应商。芯源微：前道涂胶显影 + 湿法清洗设备，产品导入存储与先进封装产线。盛美上海：单片式清洗设备批量供货各大晶圆厂，同步拓展先进封装电镀设备。华海清科：国产 CMP 抛光设备，持续导入 12 英寸存储、逻辑生产线。

测试设备赛道长川科技：存储、功率、模拟芯片测试设备齐全，覆盖探针台、分选机，适配晶圆与封测环节。华峰测控：模拟、车规功率芯片测试设备供货充足，功率器件扩产拉动设备需求。中科飞测：晶圆薄膜、缺陷检测量测设备，补齐国内量测设备供给缺口。

气体流体高纯配套设备至纯科技：高纯流体、气体输送系统服务商，同步布局湿法清洗设备。正帆科技：特种气体管路、腔体配套设备，为各类晶圆厂提供高纯工艺配套。

设备零部件富创精密：刻蚀、沉积设备精密结构件，供货多家头部设备厂商。华亚智能：半导体设备精密金属零部件，适配刻蚀、薄膜、测试设备。江丰电子：高纯溅射靶材，同步配套薄膜设备零部件需求。托伦斯：精密陶瓷零部件供应商，进入主流设备厂商供应链，受益零部件涨价。

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