刻蚀机装备A股核心标的，分两类：纯正刻蚀机龙头：中微公司 688012 — 国产刻蚀设备绝对龙头，CCP/ICP双路线，5nm刻蚀设备进入台积电供应链，全球刻蚀市占率约8%，2024年营收90.65亿，净利润16.16亿北方华创 002371 — 平台型半导体设备龙头，刻蚀机是核心产品之一，覆盖14nm量产、5nm验证，2024年营收298.38亿，净利润56.21亿，市值约2600亿刻蚀相关产业链：芯源微 688037 — 涂胶显影设备为主，也有湿法刻蚀机，前道设备国产替代主力神工股份 688233 — 刻蚀用单晶硅材料，满足7nm先进制程刻蚀环节对硅材料要求拓荆科技 688072 — 薄膜沉积设备（PECVD/ALD），与刻蚀配套的前道设备盛美上海 688082 — 清洗设备，刻蚀前后都需要清洗华海清科 — CMP抛光设备，刻蚀配套逻辑： 刻蚀设备是半导体前道核心设备之一，占晶圆设备投资约20%。国产替代是主线，中微公司技术最先进（5nm进台积电），北方华创体量最大（平台型）。美国实体清单已经把北方华创旗下多家公司拉黑，国产替代紧迫性更高。