7月10日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF鹏华（589020）跌1.45%，报3.342元，成交额10.17亿元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科截止午盘涨1.31%，中微公司跌0.79%，中科飞测跌0.42%，安集科技跌1.26%，沪硅产业涨2.26%，芯源微跌3.63%，华峰测控涨0.02%，天岳先进跌4.19%，富创精密跌5.44%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为230.97%，近一个月回报为61.34%。