电子级高纯二氧化碳的国产替代

电子级高纯二氧化碳（6N-7N纯度）国产替代已进入‌规模化落地关键期‌，核心驱动力来自海外石化副产原料收缩导致的全球供应紧缺，以及国内企业在提纯工艺与头部晶圆厂认证上的突破。目前国产产品主要应用于先进制程‌超临界清洗‌、光刻载气等场景，国产化率正从“小批量验证”向“主力供应”跃升 。‌‌

核心替代逻辑与现状
‌供需错配窗口‌：电子级CO₂依赖炼油/石化尾气副产，2026年受地缘局势影响，韩国等海外产区开工率下滑，原料端供给缺口扩大；而国内依托长三角、西南等石化集群，原料自主可控，库存与供应稳定性显著优于海外 。
‌技术壁垒突破‌：国内头部企业已掌握‌低温精馏、催化氧化、高精度过滤‌等核心提纯技术，杂质控制达ppb级，产品纯度稳定在6N（99.9999%）及以上，部分具备7N制备能力，打破林德、空气化工等外资垄断 。
‌认证进度加速‌：国产气源已通过中芯国际、长鑫存储、长江存储等国内大厂批量供货；部分企业（如金宏气体）产品通过SK海力士多轮测试并进入正式供应阶段，开始承接海外溢出订单 。‌‌
主要国产替代企业梯队
表格
企业 核心优势与进展 纯度/产能亮点
‌金宏气体‌ 长三角电子气体龙头，电子级CO₂产能国内居首；已通过SK海力士认证并正式供货，绑定中芯、长鑫等头部客户 。 量产6N，具备7N样品能力；电子级年产能2.6万吨 。
‌凯美特气‌ 全产业链CO₂龙头，依托石化尾气成本优势显著；参与制定《电子级二氧化碳》国家标准，产品进入长江存储供应链 。 布局5N-6N电子级产线，总产能规模行业领先 。
‌华特气体‌ 特种气体国产化先行者，掌握深度纯化工艺；产品获ASML光刻机原厂认证配套，可批量出口海外 。 稳定量产6N-7N，覆盖浸没式光刻、晶圆清洗全流程 。
‌至纯科技‌ 聚焦12英寸28nm及以下先进制程，提供含高纯CO₂的大宗气体一站式供气服务 。 适配高精度工艺需求，现场制气+管道供气模式 。
‌其他潜力方‌ ‌杭氧股份‌（设备+运营一体化）、‌侨源股份‌（西南区域低成本资源）、‌和远气体‌（华中区域全覆盖）均在加码电子级产线布局 。 侧重区域化供气与设备协同，认证进度持续跟踪中 。 ‌‌
关键制约与展望
‌认证周期长‌：半导体客户端验证通常需1-3年，新产线业绩兑现需紧密跟踪认证节奏，短期存在波动风险 。
‌原料依赖‌：虽国内原料可控，但仍受上游石化开工率周期性影响，需优化CCUS碳捕集回收技术以增强弹性 。
‌长期趋势‌：随着3D NAND、先进逻辑制程扩产，超临界清洗需求刚性增长，预计2026年底后供需缺口小幅收窄，但‌本土化供气‌将成为晶圆厂风控标配，国产份额将持续提升 。‌‌