HBM存储芯片刻蚀环节的核心电子特气【六氟丁二烯】7家主要上市公司

六氟丁二烯（C₄F₆）是7nm及以下先进制程芯片、HBM存储芯片刻蚀环节的核心电子特气。1. 昊华科技（600378）

全球龙头企业，拥有1200吨/年5N/6N电子级产能，全球市占率约57%，国内高纯市场占有率超90%。 产品通过台积电、中芯国际、长江存储、长鑫存储等全球头部晶圆厂认证，是国内唯一可批量供应3nm/5nm先进制程的厂商，当前处于满产状态。

2. 巨化股份（600160）

自有420吨/年产能，以4N级产品为主，5N高纯级处于客户认证阶段 依托氟化工全产业链布局，原料自给率高，具备显著成本优势；同时参股中巨芯，间接布局高纯产能。

3. 中船特气（688146）

拥有200吨/年电子级六氟丁二烯产能，稳定量产供货国内存储、逻辑晶圆厂 国内全品类电子特气龙头，是半导体材料国产替代核心厂商之一。4. 华特气体（688268）

高纯六氟丁二烯已通过客户认证，实现小批量供货，产能处于扩张阶段。

5. 中巨芯（688549）

175吨/年电子级六氟丁二烯项目已建成，由巨化股份与国家大基金共同发起设立，配套国内晶圆厂国产替代需求。

6. 多氟多（002407）

在建50吨/年六氟丁二烯产线，同步布局六氟化钨等高端电子特气，依托氟化工一体化基础切入赛道。

7. 南大光电（300346）

通过合资与技术合作切入六氟丁二烯领域，当前产能规模较小，弹性相对有限。

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