半导体设备产业链+核心龙头(严格对应你划分的5大环节)1、前道核心工艺整机:刻蚀、沉积、热处理(价值量最高)刻蚀设备- 中微公司(688012):CCP介质刻蚀国内绝对龙头,5nm进入台积电,存储深槽刻蚀独家配套长江存储,弹性首选。- 北方华创(002371):ICP硅刻蚀、金属刻蚀龙头,平台型全覆盖,中芯国际核心供应商。薄膜沉积(PVD/PECVD/ALD)- 北方华创:PVD国产龙头,产品线最全。- 拓荆科技(688072):PECVD+ALD专业龙头,深度绑定长存、长鑫存储,3D NAND核心受益标的。- 芯源微(688037):物理沉积+涂胶显影龙头。热处理/氧化扩散/炉管- 北方华创:炉管、氧化退火设备国内第一梯队。- 华海清科(688120):CMP化学机械抛光(前道必备配套设备)。2、清洗、电镀专用设备晶圆清洗- 盛美上海(688082):单片式兆声波清洗龙头,先进制程主力,长存、长鑫核心采购方。- 至纯科技(603690):槽式湿法清洗+高纯流体系统双主业。电镀设备- 北方华创:电镀整机国产化主力。- 芯源微:铜互连电镀设备。3、高纯工艺系统、真空气路配套(厂务设备)- 正帆科技(688596):超高纯气体管路、真空介质系统龙头。- 至纯科技:湿法+高纯工艺系统一体化。- 新莱应材(300260):高纯阀门、真空管件。- 华亚智能(003043):真空腔体、精密结构件。4、晶圆检测设备+封装设备量检测设备- 中科飞测(688361):光学检测、薄膜测厚龙头,国产量检核心标的。- 长川科技(300604):晶圆测试、探针台、分选机龙头,覆盖逻辑+存储芯片测试。- 华峰测控(688200):模拟/功率芯片测试机龙头。封装设备- 北方华创:先进封装键合设备。- 长川科技:封测后段整套测试设备。5、核心零部件:靶材、真空泵、精密结构件溅射靶材(沉积设备核心耗材)- 江丰电子(300666):高纯铜、铝、钽靶材龙头,配套PVD设备。- 有研新材(600206):子公司有研亿金靶材,覆盖存储产线。真空零部件+真空泵- 富创精密(688409):真空精密结构件,国内设备零部件龙头,深度供货中微、北方华创。- 京仪装备(688652):干式真空泵、真空机组核心厂商。- 中科仪:干泵国产替代主力。 精简核心核心组合(主线龙头)1)整机平台:北方华创2)刻蚀弹性:中微公司3)沉积设备:拓荆科技4)清洗设备:盛美上海5)检测设备:中科飞测、长川科技6)真空零部件:富创精密7)靶材耗材:江丰电子风险提示:以上仅为产业链梳理,不构成投资建议。需要我再给你分出【存储设备受益标的】和【先进逻辑制程标的】两个清单吗?

