A股暴跌4600股飘绿，光刻机板块逆势收涨0.85%

6月26日大盘调整，沪指跌2.26%，创业板跌4.07%，超4600只个股下跌，光刻机概念板块逆势收涨0.85%，位居概念板块涨幅第2。

海立股份子公司海立特冷为上海微电子封装光刻机独家供应高精度冷却系统，温控精度±0.01℃，打破日本荏原长期垄断。股价当日涨停，收涨7.02%，主力净流入1.54亿元。温控方向还可关注同飞股份，其液体恒温设备已应用于光刻机、刻蚀机等关键设备的温度控制。

芯碁微装6月26日登陆港交所，首日收涨103.77%，报515港元/股，市值744.58亿港元。IPO获1007倍超额认购，引入19家基石投资者。其A股年内涨幅已超三倍，一季度营收同比增长112%。

鼎龙股份新获近1000加仑浸没式ArF/KrF光刻胶订单，8款产品已批量出货。日本四大光刻胶巨头发布供应新规，国产替代进程有所提速。光刻胶方向还可关注南大光电，是国内唯一实现28nm浸没式ArF光刻胶规模化量产的企业；彤程新材在KrF领域已实现超40%国内市场份额。

资金面上，富创精密20%涨停，主力净流入2.55亿；江丰电子净流入3.73亿居板块首位；晶方科技、张江高科分别净流入3.53亿、2.49亿。零部件方向还可关注新莱应材（高纯真空及气体管路系统）、珂玛科技（先进陶瓷零部件）；光学方向可关注茂莱光学（光刻机超精密光学元件）、波长光电（光学元器件及平行光源系统）。半导体设备ETF已连续5天净申购合计约20亿元。板块内部分化明显，长光华芯跌10.37%。

产业趋势上，美国MATCH法案对浸没式光刻机等关键制程设备禁止出口，ASML对华销售占比从42%降至19%，国产半导体设备市场份额已突破40%。光刻机产业链国产替代仍是中长期主线，但短期追高风险需留意。

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