ASML携手TNO建厂，加码6英寸光子芯片

全球半导体供应链格局持续调整，区域产业自主化发展成为各大经济体的核心战略方向，光子芯片作为下一代光电子与半导体融合的核心器件，已然成为各国产业布局的重点赛道。为补齐本土高端芯片制造短板、摆脱对外技术与产能依赖，欧洲持续加码集成光子技术产业化布局。荷兰光刻设备巨头ASML与荷兰应用科学研究组织（TNO）达成深度战略合作，携手完善欧洲光子芯片产业生态体系，系统性解决光子芯片量产工艺不成熟、产能规模不足等行业痛点，全面加速光子芯片技术从试样研发走向规模化量产落地的进程，助力欧洲构建自主可控的新一代半导体产业体系。
本次合作的核心载体是TNO坐落于荷兰埃因霍温高科技园区、尚在建设中的全新光子芯片中试产线。埃因霍温作为欧洲半导体产业核心聚集地，集聚了芯片研发、设备制造、工艺攻关的优质产业资源，具备得天独厚的产业配套优势。这条全新中试产线是欧洲光子产业升级的关键基建项目，建成后将承接技术验证、工艺迭代、批量试制等核心功能，成为欧洲集成光子技术研发、工艺优化与产业协同的核心枢纽，填补欧洲高端光子芯片工业化试制的产能空白。
根据双方签署的合作协议，ASML将向这条专属中试线投入多款核心光刻设备，涵盖深紫外（DUV）、i线扫描光刻机等适配光子芯片制造的成熟设备，为芯片晶圆加工、精密光刻制程提供核心设备支撑。双方将以该专业化产线为公共联合研发平台，聚焦光子芯片量产中的工艺优化、良率提升、稳定性升级等核心课题，持续打磨标准化制造流程，有效解决实验室技术与工业量产脱节的问题，稳步推动各类前沿光子技术从实验室研发阶段平稳过渡至商业化批量生产阶段。