光刻胶,国产替代1. ArF光刻胶(含浸没式)· 鼎龙股份:已有8款产品获批量订单,包括技术难度极高的浸没式ArF,300吨产线已投产。· 南大光电:国内唯一实现ArF光刻胶量产的企业,2025年相关业务增长迅猛。· 彤程新材:ArF/KrF胶通过多家客户验证并切线上量,提供从树脂到成品的一体化方案。2. KrF光刻胶(加速替代)· 晶瑞电材:KrF光刻胶已实现量产,国产化率约10-15%。· 上海新阳:拥有完整研发平台,ArF浸没式已有订单,KrF布局完善。3. 上游核心材料(光刻胶树脂)· 八亿时空:打破垄断,实现KrF光刻胶树脂规模化量产。· 圣泉集团:G/I线酚醛树脂已量产,KrF用PHS树脂处于导入期。
