美方质疑EUV光刻机流入中国 阿斯麦公开否认



美国商务部长卢特尼克近日向荷兰半导体设备企业阿斯麦高层提出质疑，认为有一台先进极紫外光刻机（EUV）可能流入中国，涉嫌违反相关出口管制规则。

EUV光刻机是芯片制造的核心设备，多用于生产高端芯片。阿斯麦对此坚决否认，表示从未向中国出售EUV设备，目前全球在役设备共314台，中国境内数量为零。该设备体型庞大，安装、转运、维护都需企业工程师全程参与，不存在私下流转的可能。

美方并未停止施压，部分官员称掌握阿斯麦向中方出口相关零部件及配套设备的证据，但拒绝公开具体资料。

在中美科技博弈背景下，阿斯麦成为各方博弈的焦点。目前国内暂未引进EUV设备，这也是本土高端芯片产业面临的主要技术瓶颈之一。

中国市场预计占阿斯麦2026年预估营收的20%。若美国进一步限制深紫外光刻机（DUV）及配套维修服务对华出口，不仅会冲击阿斯麦业绩，也会加剧三方在半导体领域的竞争。

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