德国之声6月19日晚写道:“阿斯麦(ASML)最新回应表示,从未向中国出口过极紫外(EUV)光刻机及部件。此前有报道称,美国官员担心,该公司一款先进的极紫外光刻机已经流入中国。阿斯麦最先进的EUV光刻系统重达180吨,体积相当于一辆中型客车。”
事情的起因,是有美国官员对外放风,称担心一台阿斯麦最先进的极紫外光刻机已经流入中国。这个消息没有附上任何证据,连具体型号、流向渠道、时间节点都含糊不清。
可就是这么一个模糊的说法,被刻意放大,在国际舆论场制造出一种中国可能已经偷偷拿到EUV光刻机的印象。
阿斯麦的回应实际上是在辟谣。EUV光刻机不是集装箱里能随便塞进去的货品。一台整机重达180吨,体积相当于一辆中型客车,组装和运输需要专用超净恒温恒湿的无尘车间环境。
每一台EUV光刻系统在全球范围内都有唯一的编号,从荷兰工厂下线那一刻起,去向就在阿斯麦和荷兰海关的双重监控之下。
装机、调试、日常维护全部由阿斯麦原厂认证工程师驻场完成,任何未经授权的转移或拆解,在物理层面和追踪系统层面都几乎不可能悄无声息地发生。
中国境内目前零台EUV光刻机,这是一个铁打的事实。美国自己也知道这一点,否则它不需要刻意放风、用模糊的担心来代替证据。
华盛顿在这个时间点制造这条消息,背后的逻辑值得推敲。如果中国在EUV领域仍然是完全空白的状态,美国根本不需要去编造一台根本不存在的机器流向了中国,因为封锁本身就是有效的。恰恰是当封锁可能正在失效的时候,制造威胁叙事才有价值。
过去几年,中国在半导体制造设备领域的技术突破,不再是秘密。深紫外光刻机方面,国内已有能力生产90纳米以下制程节点所需的系统,并且正在向更先进的节点推进。
蚀刻、薄膜沉积、检测量测等配套环节也在提速。业界普遍判断,即便在最尖端的EUV环节,中国距离工程化突破也并不像五年前那样遥不可及。
一旦国产EUV攻关进入临界状态,华盛顿面临的是一个棘手的问题:旧的封锁体系即将崩解,新的围堵手段必须尽快搭建。
而要说服盟友尤其是荷兰配合升级出口管制,就需要制造紧迫感。最有效的手段之一,莫过于制造一台看不见的机器失窃了。
这不是第一次。美国此前就曾多次暗示某些敏感设备可能通过第三方转口落入中国手中,试图以此推动荷兰进一步收紧深紫外光刻机的出口许可范围。
今年早些时候,荷兰在美方持续压力下,已经对部分DUV型号的出口许可设置了更严格的审批条件。
如果后续要进一步加码,尤其是把更多成熟制程设备也纳入管制清单,就必须有一个升级行动的理由。所谓的EUV流入中国的传闻,就是这个理由的试探性投放。
逻辑链条并不复杂。放出消息试探舆论,看各方反应。如果阿斯麦和中国都坚决否认,那正好可以顺势说管控还不够严密,需要更严格的审查机制。
如果外界默认了传闻的可信度,那就顺势推进对荷兰的施压。不论哪条路,最终目的都是收紧对华半导体设备出口。
更深一层看,华盛顿真正焦虑的,不是机器偷渡,而是封锁失效。技术封锁的本质,是时间窗口的博弈。
在对手尚未突破之前,封锁可以拖慢进度。一旦对手突破在即,封锁反而会加速其自主替代的决心与投入。
美国半导体行业内部一直有声音认为,过度管制会反过来削弱美国设备制造商的全球市场份额,变相给中国设备商腾出成长空间。
荷兰的处境同样微妙。阿斯麦是全球唯一能生产EUV光刻机的企业,荷兰政府需要在华盛顿的压力与本国经济利益之间找到平衡。
中国是阿斯麦最大的市场之一,即便无法出售EUV,DUV设备的对华销售也占据公司营收的相当份额。荷兰不愿意轻易放弃这块蛋糕,但又难以完全无视美国的施压。
回到传闻本身。阿斯麦的回应已经将事实澄清得足够清楚。EUV光刻机从未进入中国,这是一条毫无争议的结论。美国官员拿不出一页证据却反复放风,更像是一种策略性操作。
在国产光刻机可能逼近突破的节骨眼上,华盛顿选择炒热这个话题,背后盘算的,是为下一阶段升级对华技术封锁提前铺路,看不见的机器,从来都不是重点。看得见的封锁松动,才是症结所在。
信源:观察者网


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