本周日（6月14日），上海微电子首台量产浸没式DUV GKJ将正式交付ICRD（上海集成电路研发中心），这不是样机，是能商用、可量产的国产高端GKJ里程碑，正式打破海外垄断。张江高科/茂莱光学/汇成真空/波长光电