台积电股东大会"光刻机风波"!
2026年6月4日,台积电年度股东大会在台北召开,现场座无虚席。股东提问环节的第一个问题,就直指当下半导体行业最敏感的话题——台积电到底买没买ASML最先进的高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV,型号EXE:5200B)?
股东之问:不买,会不会重蹈英特尔覆辙?
提问的股东毫不客气:外界传言台积电没有采购ASML最先进的High-NA EUV光刻机,这会不会对未来发展和同行竞争构成威胁?会不会像当年英特尔那样,因为搁置EUV投入而导致制程发展滞后、最终丧失领先地位?
这个问题的分量很重。英特尔正是因为在EUV技术上的犹豫和迟缓,在先进制程竞赛中被台积电反超,从行业霸主沦为需要找台积电代工的"客户"。股东担心台积电正在犯同样的错误。
魏哲家回应:我们不是不买,是"买了几台不好意思讲"
面对质疑,台积电董事长魏哲家当场辟谣,核心信息可以概括为三层:
买了,而且早就买了。 魏哲家原话:"我们有买!"至于买了几台,他幽默地表示"不好意思讲",数量属于商业机密。用途是研发,不是量产。 这些设备目前正用于各项技术研发工作,台积电并未因技术自满而停滞。暂不量产的核心原因:成本太高。 High-NA EUV单台售价超过3.5亿欧元(约4亿美元),当前生产成本偏高,台积电的策略是持续优化生产力、降低成本,待时机成熟后再正式导入生产线。
深度拆解:这背后到底在博弈什么?
一场"先说不买、再承认买了"的舆论管理
这件事并非空穴来风。早在2026年4月的北美技术研讨会上,台积电联合首席运营官张忠谋就公开表示,公司没有计划将High-NA EUV用于芯片量产,相关决定至少延续至2029年,直言该设备"非常非常昂贵"。
这番表态直接导致ASML股价短时下跌,市值蒸发近170亿美元。 两个月后的股东大会上,魏哲家不得不亲自出面"灭火"——澄清不是不买,而是买了先做研发。本质上,这是一次预期管理:对外释放"台积电仍在技术前沿"的信号,安抚股东和市场信心。
台积电的底气:现有EUV还能"榨"很久
台积电之所以敢暂缓High-NA EUV的量产导入,根本原因在于现有0.33NA EUV设备仍有充足的技术冗余。台积电的A13制程(相当于1.3nm级别)计划于2029年量产,在此之前,通过多重曝光等工艺优化手段,现有设备完全可以支撑。
相比之下,英特尔为了争夺工艺领导权,率先导入High-NA EUV并计划于2026年投入生产,这是一场高风险的豪赌。 台积电的选择则是典型的"后发制人"——让英特尔和三星先去趟雷,自己等成本下降、工艺成熟后再大规模导入,用最低的成本获取最大的收益。
成本账:4亿美元一台,到底贵在哪?
High-NA EUV将数值孔径从0.33提升至0.55,分辨率大幅提升,可实现约8nm甚至更小的关键尺寸,是推动2nm及更先进制程的关键。 但代价同样惊人:
单台售价超4亿美元,是上一代EUV(约2-2.5亿美元)的近两倍设备体积庞大,部分组件高度超过厂房房间高度,运输需要专门规划,甚至需要夜间运输采用"拼接"技术(stitching),工艺复杂度显著提升维护成本和良率爬坡周期都远高于现有设备
对于台积电这样每年资本支出高达560亿美元的企业来说,不是买不起,而是在投资回报率尚未明确之前,没有必要大规模铺开。
行业格局:台积电的"慢"恰恰是最快的策略
从整个行业来看,台积电的审慎态度反而凸显了其商业智慧:
英特尔:率先导入High-NA EUV,赌的是技术领先能帮它夺回制程王座,但高昂的成本可能进一步拖累其本已脆弱的财务状况三星:也在跟进High-NA EUV,试图缩小与台积电的差距台积电:手握全球74%的先进制程营收份额,客户包括英伟达、苹果、AMD等几乎所有顶级芯片设计公司,它不需要冒险抢跑,只需要在最佳时机入场
正如魏哲家所说:"台积电三、四十年来没缺乏过竞争,而且台积电一直赢,以后也会是如此。"
写在最后
这场股东大会上的问答,表面上是关于一台光刻机的讨论,本质上折射出的是半导体行业技术路线与商业逻辑的深层博弈。台积电的策略非常清晰:技术上不落后,商业上不冒进。买几台做研发,确保技术储备不掉队;不急于量产,等成本曲线下降到合理区间再大规模部署。
这不是"重蹈英特尔覆辙",恰恰相反——英特尔当年是因为技术判断失误而掉队,台积电现在是因为成本判断精准而领先。 两者的区别,恰恰在于一个"被迫落后",一个"主动选择"。

