电子特气概念梳理行业逻辑电子特气是芯片制造的核心刚需原材料，细分品类分工明确：二氯二氢硅用于沉积硅层、三氟化氮用于腔体清洗、六氟化钨用作金属导线沉积、六氟丁二烯负责纳米级精密刻蚀，被称作半导体材料的“粮食”。伴随芯片制程迭代至7nm、5nm及更先进工艺，行业对电子特气纯度、品类要求持续抬升，是高端半导体关键战略材料。细分赛道及相关上市公司一、六氟化钨1.中船特气：年产能2000吨，六氟化钨全球市场覆盖率70.31%2.昊华科技：产能600吨/年，产品落地半导体领域3.中炬芯：产能600吨/年4.和远气体：配套年产500吨六氟化钨产线5.至纯科技：子公司南通至纯经营范围含六氟化钨生产二、二氯二氢硅1.三孚股份：量产电子级二氯二氢硅，现有产能850吨/年2.和远气体：电子级产品小试落地，产能300吨/年3.金宏气体：试产对应产品，产能200吨/年4.华塑股份：完成产品可行性论证，规划产能500吨/年5.中国中冶：旗下中硅高科技改项目布局电子级二氯二氢硅三、三氟化氮1.中船特气：产能18500吨/年，全球覆盖率65.03%2.南大光电：产能8300吨/年，国内电子特气龙头企业3.华特气体：募投项目规划1000吨/年产能，多品类电子特气布局4.昊华科技：现有产能5000吨/年，在建6000吨/年新项目5.广钢气体：筹划建设3000吨电子级三氟化氮项目四、六氟丁二烯1.昊华科技：产能1200吨/年，产能规模全球首位2.中船特气：产能200吨/年3.中炬芯：建成175吨/年电子级六氟丁二烯产线4.华特气体：在建年产300吨合成项目5.金宏气体：在建产能200吨/年五、其他电子特气标的1.凯美特气：主营超高纯气体、光刻气，产品通过ASML旗下子公司认证2.雅克科技：子公司量产高纯四氟化碳、六氟化硫，用于半导体刻蚀工序3.桥源股份：高纯氮、高纯氩供货半导体产业链，绑定多家芯片厂商4.建业股份：超纯氨产能13000吨5.三孚股份：年产500吨二氯二氢硅+1000吨电子三氯氢硅六、配套空分设备1.杭氧股份：国内空分设备市占率第一，2024年空分业务营收45.25亿元2.福斯达：2024年空分设备营收19.17亿元⚠️备注：信息整理自公开行业资料，仅作复盘参考，不构成任何投资建议。