重磅！半导体设备的“易中天”找到了！

光模块有“易中天”，半导体设备也有自己的“三巨头”了。

2026年一季报显示，在AI驱动与国产替代加速下，北方华创、中微公司、拓荆科技三大龙头，凭借稀缺技术壁垒与充足订单，成为设备赛道的“三巨头”。

一、数字不会说谎

北方华创：Q1营收103.23亿元，同比+25.80%；扣非净利润16.27亿元，同比+3.60%。研发投入14.02亿元（同比+36.64%）。

中微公司：Q1营收29.15亿元，同比+34.13%；扣非净利润4.78亿元，同比+60.09%。研发支出9.08亿元，营收占比超31%。

拓荆科技：Q1营收11.12亿元，同比+56.97%；归母净利润5.71亿元，同比扭亏。在手订单约110亿元。

二、为什么是它们？

1.北方华创——唯一平台型龙头

国内唯一覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、离子注入等核心工艺的设备平台，研发投入行业第一，是国产替代的核心力量。

2.中微公司——刻蚀技术全球领先

国内唯一在CCP刻蚀领域达全球领先水平的公司，刻蚀是芯片制造最核心环节之一，高研发投入构筑技术护城河。

3.拓荆科技——薄膜沉积稀缺标的

国内PECVD设备龙头，薄膜沉积与刻蚀、光刻并称三大核心工艺。手握110亿订单，成长确定性较强。

三、完整对标

1.测试设备

· 长川科技：扣非净利润3.25亿元，同比+612.27%。覆盖SoC、存储、分选机、探针台四大品类。
· 华峰测控：归母净利润9420.73万元，同比+52.12%。模拟混合信号测试机龙头。

2.CMP设备

· 华海清科：归母净利润2.47亿元，同比+5.95%。CMP国内市占率超90%，率先实现12英寸量产。

3.清洗设备

· 盛美上海：营收14.76亿元，同比+13.06%。单片兆声波清洗技术全球独有。

4.量测检测

· 精测电子：归母净利润4271.20万元，同比+13.61%。少数突破前道量测的厂商。
· 中科飞测：营收3.96亿元，同比+34.63%。国产化率最低环节之一，仍处高投入期。

四、国产替代空间巨大

刻蚀、薄膜沉积、量测检测等核心环节国产化率仍处低位，替代空间广阔。“三巨头”凭借技术领先性与平台稀缺性构成板块压舱石，细分龙头在各自赛道具备差异化竞争力。

以上基于一季报整理，不构成投资建议。股市有风险，投资需谨慎。