中国刻蚀机之父从0干出2000亿市值
光刻机把电路图案投到晶圆上，刻蚀机再按照这个图案，把多余材料一层层刻掉。芯片里那么多沟槽、孔洞、金属线路，很多都要靠刻蚀做出来。图案画得再准，刻不出来也没用。
难点在于，它刻的不是一块普通材料，而是在纳米尺度上处理不同薄膜。要刻得深浅一致、边缘整齐、不能伤到下面的结构，还要每一片晶圆都稳定重复。这背后考验等离子体控制、材料反应、真空系统、腔体设计和长期稳定性。
所以尹志尧带中微把刻蚀设备做到先进制程供应链里，意义很大。半导体设备不是做出样机就算成功，真正难的是让全球最挑剔的晶圆厂敢长期用。芯片制造拼到最后，很多胜负都藏在这种看不见的精度里~
