荷兰光刻机巨头ASML表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎不可能了,但是中国一直没有放弃,研发投入每年增速超过20%。 荷兰ASML高层多次放话,中国获取EUV光刻机基本没戏,美国把出口管制卡得死死的,从2019年起就没松过口。ASML首席执行官克里斯托夫·富凯在2025年底到2026年初的几次采访里反复强调,中国断供EUV设备已经八年,技术世代至少落后八代,短期内追上几乎没可能。 要搞明白这件事的来龙去脉,首先得清楚ASML为什么会说这样的话。ASML虽然是荷兰企业,但它的部分核心技术和零部件依赖美国,在美国的高压施压下,只能被迫限制对华出口EUV光刻机。 早在2018年,中芯国际就曾向ASML订购过一台EUV光刻机,原本预计2019年交付,可直到现在,这台设备也没能顺利交付,核心原因就是美国从中作梗,不让ASML发放出口许可。 ASML的高管也曾公开表示,不是不想向中国出口设备,而是迫于美国的出口管制政策,没有办法实现交付,这也从侧面反映出美国技术封锁的严密性。 可能有人会问,既然买不到EUV光刻机,中国为什么不继续想办法谈判、争取? 其实,中国并不是没有尝试过,只是美国的封锁越来越严,从最初限制EUV光刻机出口,到后来扩大范围,试图限制部分DUV光刻机出口,甚至将中国众多半导体设备商、材料商纳入“实体清单”,全面围堵中国半导体供应链。 美国的目的很明确,就是想通过技术封锁,遏制中国半导体产业的发展,不让中国在高端芯片领域实现突破,从而维持自己在全球半导体行业的主导地位。 面对这样的外部压力,中国没有选择妥协,也没有把所有精力都放在买现成设备上,因为我们清楚,依赖进口设备,终究会被别人卡脖子,只有自己掌握核心技术,才能真正摆脱被动局面。 所以,中国转头开始攻克半导体全产业链,从芯片设计、制造,到设备、材料、封测,每一个环节都加大研发投入,一步步补齐短板。 数据显示,中国半导体领域的研发投入,每年增速都超过20%,2025年全社会研发投入更是超过3.92万亿元,其中半导体相关的基础研究投入也创下历史新高,这份投入力度,在全球范围内都是少见的。 很多人觉得,研发投入多,就能很快看到成果,但半导体产业的发展,从来都不是一蹴而就的。 半导体制造是一项极其复杂的系统工程,整个生产流程涉及上百种核心工艺设备,其中光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机,被称为芯片制造的“四大金刚”,缺一不可。 这些设备的研发,需要跨学科的技术积累,涉及精密制造、材料科学、核物理等多个领域,不是短时间内就能突破的,需要科研工作者长期深耕、反复试验。 这些年,中国在半导体全产业链上的进展,虽然没有达到“一蹴而就”的效果,但也取得了不少实质性突破。 比如,中国已经成功研制出首台串列型高能氢离子注入机,补齐了芯片制造四大核心装备的最后一块高能短板,设备各项核心指标都达到国际顶尖水平,而且所有核心子系统实现100%国产化,彻底摆脱了对海外零部件的依赖。 在刻蚀机、薄膜沉积设备领域,也实现了28nm及以上成熟制程的全面覆盖,批量进入中芯国际、华虹等国内主流晶圆厂产线,成为芯片制造的核心主力。 可能有人会疑惑,既然我们能攻克这些核心设备,为什么还会被EUV光刻机卡脖子? 其实,这就是半导体产业的复杂性,不同设备的研发难度不同,EUV光刻机的技术门槛是目前所有半导体设备中最高的,它集合了全球顶尖的光学、机械、电子技术,ASML也是集合了全球多个国家的核心零部件,才实现了量产。 中国目前虽然在成熟制程设备上取得了突破,但在EUV光刻机这样的高端设备上,还需要时间积累,不能急于求成。 ASML的表态,虽然刺耳,但也从侧面提醒了我们,核心技术从来都买不来,只能靠自己研发。 这些年,外部压力越大,中国的研发投入反而越猛,这背后,是中国摆脱技术封锁的决心,也是对半导体产业发展规律的清醒认知。 我们没有盲目追求“弯道超车”,而是一步一个脚印,从基础环节做起,攻克全产业链的各个短板,这种稳扎稳打的方式,虽然见效慢,但却能筑牢半导体产业的发展根基,避免出现“卡脖子”的致命短板。 其实,ASML也很清楚中国市场的重要性,中国已经成为ASML的DUV光刻机最重要的市场之一,截至目前,ASML在中国大陆的装机量已经超过1000台,员工数量也超过1500人。 ASML的高管也曾表示,中国大陆是半导体产业重要参与者,抛开非市场因素,公司对于中国市场的投入和支持是坚定的,这也从侧面说明,中国半导体产业的发展,是不可阻挡的,美国的技术封锁,终究只能是暂时的阻碍。
