荷兰光刻机巨头ASML表示，现在在美国的技术封锁下，中企想获取EUV光刻机几乎不可能了，但是中国一直没有放弃，研发投入每年增速超过20%。 2018年中芯国际向ASML订购EUV设备，已经支付款项，原计划2019年交付使用。但在美国持续施压下，荷兰政府和ASML未能获得必要许可，设备始终未到货。限制后来扩大到部分DUV设备，以及老设备的零件供应和维修服务。 中国过去是ASML重要市场，营收贡献一度接近四成。现在份额下降，到2025年预计降至20%左右，ASML自身股价和业务也受到影响。 高管提到过度限制会影响自身订单。ASML作为全球唯一能稳定供应EUV光刻机的公司，过去很依赖中国市场。 在景气时候，中国贡献接近四成营收，有些年份甚至更高。现在这部分业务受限，公司预计2026年中国市场销售额会明显回落。 高管在财报场合反复强调，限制措施让自身订单和长期议价能力都受到压力。实际情况是，封锁不仅没完全挡住对手，还让ASML自己先感受到市场变化。 中国选择加大自主投入，国家研发经费强度提升，大基金三期注册资本3440亿元，重点支持设备和材料领域。上海等地地方政府提供政策支持，推动相关企业发展，这些资金实打实用于系统攻关，光刻机不是一台简单机器，它由十多万个精密部件组成。 美国限制整机和关键模块，中国就把它们拆开一项项攻克。上海微电子装备公司90纳米设备已经进入量产阶段，获得过亿元级别订单。 28纳米浸没式机型完成验证，在产线上逐步坐实能力，没有EUV时，利用现有DUV通过多重曝光工艺实现7纳米芯片稳定生产。虽然流程复杂成本较高，但保证了基本能力，中芯国际等企业在实际产线里反复验证，良率逐步提升。 从实际效果看，过去零散的攻关逐步转向系统推进，材料供应、轴承加工、光刻胶配套企业都在跟进，晶圆厂接入国产设备越来越多，供应链企业生产关键组件，组装环节逐步完善。禁令本来想掐断通道，结果反而逼着国内把多条技术路线铺开。 几年时间过去，局面发生变化，ASML对中国销售占比预期下降，他们的生意受到影响。中国这边光刻整机、部件和替代工艺同步发展，上海微电子等企业设备交付增加，更多产线采用国产系统。