MEMS，新产业的万金油！随着AI算力、机器人、无人驾驶、商业航天等新产业的兴起，MEMS的重要性越来越突出，MEMS正如同一款“万金油”，以其极强的渗透性和适应性，成为新兴产业体系中不可或缺的核心部件。MEMS，全称Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统。它是在微米尺度上，将机械结构、电子元件、传感器、执行器等集成于一块硅基板上的微型系统。如果说传统芯片是负责“思考”的“大脑”，那么MEMS就是负责“感知”和“动作”的“五官”和“手脚”。它通过精巧的微型结构，感知我们这个物理世界的各种变化——如运动、声音、压力、磁力、温度；同时，它也能接收电信号，做出相应的物理动作——如移动、旋转、喷射、开关。在AI算力领域，OCS将成为受益TPU爆发的最大增量环节，而MEMS是OCS目前最核心的技术路径，价值量占比在30%-40%左右。如果说OCS是数据中心内部信号的“现代化高速公路”，那么MEMS微镜阵列，就是这座现代化高速公路系统中最核心、最智能的“全能立交桥”。基于MEMS的OCS交换机，具备纳秒级切换速度、极高的带宽、极低的插损和近乎为零的功耗。它能够根据AI计算任务的需求，动态重构网络拓扑，实现计算资源的最优配置，从而将整个算力集群的效率提升数倍。以谷歌OCS设备为例，单台总成本约1.2万-1.5万美元，其中预测MEMS为最大成本项，单机价值量约4000-5000美元，价值量占比在30%-40%左右。随着OCS领域需求的爆发，将给MEMS带来一个百亿级别的市场。在机器人领域，MEMS是精密控制的运动中枢，在工业机器人中，MEMS传感器单机价值量占比约8%-12%，人形机器人中需求将更高。机器人，其本质是模拟甚至超越人类的感知-决策-执行循环。MEMS技术在其中扮演着“感官”和“小脑”的角色，是机器人感知环境和实现精准运动控制的基础。比如MEMS惯性测量单元（IMU）： 包含加速度计和陀螺仪，是机器人的“前庭系统”，提供自身的姿态、加速度、角速度信息，对于平衡控制、步态规划、精准定位至关重要。人形机器人通常需要至少一个高精度IMU，其价值从几十到数百元人民币不等。MEMS激光雷达（LiDAR）： 通过微振镜高速扫描激光束，构建周围环境的3D点云地图，是自动驾驶和机器人的“眼睛”。MEMS方案因其体积小、成本低、可靠性高，成为中级别自动驾驶和机器人导航的重要技术路径。其价值量较高，可达数千元。每增加一个机器人，就意味着需要新增数颗甚至数十颗MEMS传感器。这个市场潜力巨大，是MEMS产业未来十年最重要的增长极之一。在商业航天领域，MEMS的微型化、轻量化、低功耗和高可靠性，完美契合了航天领域的需求，正在成为卫星和航天器的标配。商业航天的崛起，其核心逻辑是“降本增效”。而减轻每一克重量，都意味着节省数千乃至上万美元的发射成本。比如传统的卫星姿态控制系统使用大型陀螺和动量轮，体积重量大。MEMS IMU可以提供同样精确的姿态参考，而尺寸和重量仅为传统产品的百分之一，功耗更是低几个数量级。这对于构建大型星座的微小卫星来说，是决定性的技术。再比如微推进器，卫星在轨需要频繁进行轨道维持、姿态调整和规避机动。MEMS技术可以制造出芯片大小的微推进器。它们通过在微腔体内电离并加速推进剂，产生微牛到毫牛级别的推力。这种“芯片推进”技术实现了推进系统的极致小型化和高度集成，为未来纳米卫星的精确编队飞行和自主交会对接提供了可能。