中国稀土在光刻机领域作用大到超乎想象。在DUV光源的透镜与反射镜里，掺杂镧、钇等稀土元素，能提升激光损伤阈值和热稳定性。要是缺了高纯度、低缺陷的稀土光学材料，激光器功率和稳定性受限，光刻机产能和良率直接受影响。 EUV光源中，反射镜基底材料配方含氧化镧等稀土氧化物，能改善玻璃性能、调整热膨胀系数，关乎成像质量和分辨率。高性能电机与驱动器用的钕铁硼和钐钴磁体，传感器与执行器掺杂的稀土元素，都对光刻机性能至关重要。阿斯麦延迟交货，足见中国稀土管制击中了光刻机技术软肋。