光刻机其实是分前道、后道这两种的。
前道指芯片制造,后道指芯片封测,前道相对而言难度更大,门槛也更高。
数据显示,目前全球仅四家厂商,能够制造前道光刻机,这四家分别是荷兰的ASML、中国的上海微电子,日本的尼康、佳能。

而从技术上来看,ASML肯定是独霸全球的,接着是尼康,再是佳能和上海微电子。
这四大厂商的工艺技术对比,大家可以看一下下图,ASML是第一档,达到了EUV的水平,也是唯一有EUV光刻机的厂商。
而尼康是第二档,达到了浸润式DUV也就是ArFi的水平。至于上海微电子、佳能差不多,属于第三档,还没能进入浸润式DUV ArFi,还只在ArF、KrF等水平上。

当然,这只是技术水平对比,如果从销量来对比,我们会发现一个可能让大家无法接受的事实,那就是全球的前道光刻机市场,几乎就是ASML、尼康、佳能的天下。
下图是某机构整理的2024年全球前道光刻机市场的数据。分类型的销量,分公司的销量。
大家能够看到,ASML在EUV方面达到100%,在ArFi方面也达到96.99%,在ArF方面也达到了80%,绝对的垄断超高端、高端市场。

而尼康在ArFi上有3%的份额,在ArF上有20%的份额。至于佳能,则只能在更落后的KrF、i线等光刻机上,有一定的销量,特别是i线,那佳能占比最高。
但是,大家注意到没有,上海微电子在这表上,一台都没有展示出来,完全是另外三家的天下。
那这是怎么回事呢,有人说是国产光刻机的销量为0,也有人说是根本就没有统计。

事实上,肯定不是0,而是没有统计,因为上海微电子并不是上市企业,也不需要披露数据,且对中国而言,光刻机的研发、销量、进展,本来就是保密的,更不会公开出来。
所以机构根本就获取不到数据,只能忽略掉,不将其统计在内了,所以大家就看不到数据,以为是0。

事实上,目前国产光刻机还是有很多突破的,之前就曝光了氟化氩光刻机,分辨率小于等于65nm,套刻小于等于8nm,这台明显是前道光刻机。
至于这些光刻机出货多少,卖给了谁,谁在用,都是机密数据,不会公开,自然就统计不到了。
最近有外媒体甚至称,中国产的光刻机,其实已经进入到了ArFi的水准,也就是浸润式,当然真假未知,但大家可以放心事,销量绝不可能是0,且未来突破到EUV,也不是不可能的。