EUV光刻机的良率能达到60%～70%，以往只有30%～50%，跟阿斯麦尔NXT

吕程看趣事 2025-07-21 15:33:12

EUV光刻机的良率能达到60%～70%，以往只有30%～50%，跟阿斯麦尔NXT的2000i系列（代号SF3）DUV光刻机通过多重曝光实现7nm/5nm相当。说白了DUV多重曝光实现7nm/5nm成本不高；EUV单次曝光良率不高所以浪费多，反而成本过高（EUV技术已从高风险过渡到可量产阶段，但还未完全超越DUV的稳定性），但进步很大……

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