【光刻机概念梳理】
一、整机
1、上海电气：持股上海微电子27.06%
2、张江高科：持股上海微电子9.09%
3、奥普光电：长春光机所为其控股股东
二、光源
1、福晶科技：晶体材料
2、波长光电：平行光源系统
三、光学器件
1、茂莱光学：光学元器件生产加工
2、腾景科技：合分束器产品
3、炬光科技：光场匀化器产品
四、物镜
1、赛微电子：透镜系统 MEMS部件
2、福光股份：光学镜头／系统产品
五、计算／控制模块
1、电科数字：国产化计算、控制模块产品
六、洁净设备
1、蓝英装备：光刻机清洗设备产品
2、美埃科技：2002 年起进入半导体洁七、零部件／结构件
1、新莱应材：真空系统和气体系统产品
2、富创精密：基板、冷却板等产品用于八、光刻胶
1、彤程新材：半导体用 KrF 光刻胶已量产
2、南大光电：实现 ArF 光刻胶产业化
3、容大感光：PCB 光刻胶市场份额居前 财经科技新生随你而变
【风险揭示：股市有风险，投资需谨慎，本文内容与涉及标的仅供参考，不构成投资建议，也不作推荐，投资者据此买卖，风险自担】
