【又一“国运级”突破！这次是深圳】最近两天，资本市场上的中国光刻机概念板块被全面引爆了，一大批股票涨停。 引爆资本市场的，是一家来自深圳的独角兽企业——深圳新凯来工业机器有限公司，它注册在深圳龙岗区平湖街道，大股东是深圳国资。 3月26日到27日，在上海举行的2025中国国际半导体设备和材料展（SEMICON China 2025）上，深圳新凯来工业机器有限公司成为全场主角。该公司展示了自主研发的覆盖半导体制造全流程的产品，包括：外延沉积设备EPI“峨眉山”、刻蚀设备ETCH“武夷山”、薄膜沉积设备CVD“长白山”、物理气相沉积设备PVD“普陀山”、原子层沉积设备ALD“阿里山”。现场工作人员透露，包括未列入产品清单的蚀刻工具在内，部分设备已可支持到5纳米制程。 这意味着，我们在包括光刻机在内的半导体制造全流程上，已经获得了重大进展。 去年3月，彭博社曾报道说，华为与一家名为“新凯来”的半导体设备厂商，为一种技术复杂度低，但能有效制造先进芯片的方法，申请了专利。这种方案在没有极紫外光的支持下，通过多重曝光，尝试生产5nm芯片。 有媒体评论说：新凯来的亮相，恰与近期中国半导体产业的多个里程碑事件形成呼应——华为麒麟芯片回归：2024年，搭载中芯国际N+2工艺的麒麟9010芯片量产，虽未公开细节，但外界猜测其背后是DUV光刻机多重曝光技术的突破；光刻技术进展：中国科学院研发的全固态193纳米深紫外激光器、长春光机所NA 0.75物镜等成果，为国产EUV光刻机奠定基础；专利突围：新凯来2023年申请的“利用DUV设备制造5纳米晶片”专利，被外媒视为中国绕过EUV封锁的关键路径。
