近日俄罗斯首台350纳米光刻机在莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心“研发成功，标志着俄罗斯成为全球少数掌握微芯片核心生产设备技术的国家之一，这款光刻机是与白俄罗斯“Planar”工厂合作实施完成，采用固体激光器作为辐射源，相较传统汞灯方案，具备功率大、能效高、光谱窄及耐用性强等优势。 据说已有客户购买了这款350纳米光刻机，相关工艺流程正根据最终用户对生产的特殊要求进行调整。至于最终用户是谁没有透露，外界认为很可能是俄罗斯航天军工企业。因为这个设备工作区域是22x22毫米，可加工200毫米晶圆，适用于电力电子、光子学及汽车、航空航天等产业。 “泽列诺格勒纳米技术中心”已做好了批量生产这一新设备的准备。此外，他们还正按第二份国家合同继续开展 130 纳米光刻机的研发工作，预计于 2026 年完成。
近日俄罗斯首台350纳米光刻机在莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心“研发成功，标志着
编外观啊
2025-03-24 22:33:17
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