谈产生极紫外线光的基本原理！不论什么技术路径，极紫外线光的产生本质上是原子或

咏棣评这个好的情感 2025-03-16 08:41:51

谈产生极紫外线光的基本原理！不论什么技术路径，极紫外线光的产生本质上是原子或等离子体中的电子从高能级向低能级跃迁的过程。当电子处于较高能量状态时，是不稳定的，会自发地向低能量状态转变，这个过程中多余的能量就会以光子的形式释放出来。如果释放出的光子能量对应极紫外线光的能量范围波长达到13.5nm，就产生了极紫外线光。不同的技术路径，如激光驱动等离子体技术、放电等离子体技术等，都是通过不同的方式来激发电子到高能态，然后让其跃迁回低能态以释放出极紫外线光。

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