最近国产光刻机巨头上海微电子，在上海进博会展台上摆出了两台光刻机模型，型号一个叫 SSB800，一个叫 SSC800。消息一传开，网上讨论就没停过。有人激动，有人泼冷水，还有人翻出 ASML来对比。今天我们就分析这两款光刻机，看看这两台机器到底是个什么分量。

在分析这个问题之前，有一个厂商是绕不开的，这家厂商就是荷兰的ASML。ASML在光刻机领域非常强，全球高端光刻机市场，它一家占了八成左右，而且它还是全球唯一能造出 EUV 光刻机的厂商。什么是EUV光刻机呢？简单的讲，芯片制程要往7nm以下走，基本就得靠它了。别的厂商别说造EUV光刻机，连EUV光刻机的门槛都摸不到。所以这些年，一提光刻机，大家脑子里第一想到的就是ASML。

那国产光刻机现在是什么水平？说实话，跟 ASML 比，确实还处在起步追赶的阶段，二者差距非常明显。但关键在于，这几年我们一直在进步，光刻机技术不断的突破，大有追赶的趋势。而这次上海微电子在进博会上亮出两台机器就表明国产光刻机，已经走到了一个新的阶段。

那上海微电子这两台机器到底牛在哪？我们先看看它们的参数。SSB800 和SSC800分别对应i线和 KrF两条技术路线，它们用的是双工件台平台，搭载的是国产大 NA 物镜。最要紧的一点，这两款机器的关键零部件国产化率超过 90%。换言之，这两款光刻机不是拿别人零件组装的产品，是我们自主可控的光刻机。而且从关键指标看，这两台设备已经达到了全球同类产品的领先水平。

当然了，有些专业人士看到i线和 KrF，会觉得这两款设备是不是太落后了？毕竟现在大家都在聊 EUV、聊2nm工艺。客观的讲，上海微电子这次的两款光刻机工艺确实不强，大概落在第二、第三代这个区间。如果拿它跟ASML的EUV光刻机比，那确实是差着好几代，大概相当于ASML在20年前的水准。

可问题在于，芯片不是只有尖端那一小撮。全球芯片需求的大头，恰恰集中在成熟制程上。汽车电子、工业控制、家电、电源管理，这些领域用的芯片，根本不需要7nm、3 nm，i 线、KrF 这类设备就完全够用。而这正是国内需求量最大、也最容易被别人卡住的地方。所以这两台设备的意义不在于它有多先进，而在于它把最基础、最庞大的一块产能掌握在自己手里。

看到这里，我想ASML多少有些始料未及吧。ASML 这些年能稳坐钓鱼台，靠的不只是技术领先，更是因为别人造不出来，只能买它的产品。你越依赖ASML，它的话语权就越重。可现在，国产光刻机的国产化率做到了90%以上，这意味着什么？意味着从光源、物镜、工件台到控制系统，这条链条我们自己基本能闭环了。别人再想在某一个零件上卡你，已经卡不住了。

这就好比，过去你家的水龙头只有一个进口牌子能换，人家说不卖就不卖。现在你自己能造了，虽然样式没人家新潮，但拧开就有水。所以ASML最怕的不是某台国产机器性能比它强，而是我国这个市场慢慢不需要它了。也正因为如此，有网友才认为：全球光刻机市场的格局基本上没有悬念，国产光刻机已经成了一股绕不开的力量。

不过话又说回来了，国产光刻机和ASML之间的差距还是非常明显的。EUV那一关，我们还没跨过去；先进制程的高端设备，我们依然受制于人。所以这次亮出的两款光刻机是成熟制程的突破，是 从0到1走通了，但离从1到100还有很长的路要走。

说到底，这件事最值得琢磨的地方是我们该怎么看待它。我们既不能因为两台机器亮相，就觉得光刻机的难关全过了。也不能因为它落后 ASML 二十年，就一棍子打死，觉得毫无意义。技术的追赶本来就是从低端做起、从成熟制程做起，一步步往上爬的。今天我们能把 i 线和 KrF 做扎实、做到九成国产化，明天才有资格去碰 ArF，去碰 EUV。

写在最后

ASML依然是光刻机这个行业的王者，这一点短期内不会变。但它大概也没料到，被它垄断了这么多年的市场会这么快冒出一个能自己造设备的对手。国产光刻机还年轻，路还长，可这一次亮相至少让所有人看清楚了一件事：这条路，我们是真的在走，而且越走越稳。